قيادي في توريد مصممة بشكل جيد وسخانات عملية الركيزة متوافق لفيلمنا رقيقة R & D والعملاء التصنيع العاملة في مجالات الالكترونيات والإلكترونيات الضوئية ، الضوئية ، والالكترونيات الدقيقة والعلوم البيئية ، رقيقة الإنتاج السينمائي والتعبئة والتغليف ، والتكنولوجيا الحيوية ، وأشباه الموصلات وتطبيقها وفيزياء الحالة الصلبة والكيمياء والهندسة رقيقة جهاز السينما والتقنيات.
صممت خصيصا لسخانات الركيزة الموج الأزرق لتكنولوجيات رقيقة ترسب الفيلم مثل ترسب بخار الفيزيائية والكيميائية ترسب بخار. تتكون السخانات الركيزة الأكسدة تخصص درجات الحرارة العالية وسبائك معدنية مقاومة كيميائية عالية متكاملة مع السيراميك المقاوم للحرارة الكيميائية متوافق للغازات الفراغ ، وعلى رد الفعل الأكسجين أثناء التشغيل تصل إلى 900 درجة مئوية ، وجيم خامل أو فراغ تصل إلى 1000 درجة سخانات الموج الأزرق لديهم استثنائية التوحيد درجة الحرارة السطحية في مختلف أنحاء المنطقة لتوفير درجة حرارة سخان موحدة لركائز لرقيقة موحدة ، والطلاء ، وعالية الغلة في تصنيع الجهاز.
الموج الأزرق يقدم اثنين من التكنولوجيات ، واحدة مخصصة لعمليات بناء أو أكسيد رد الفعل ، وغيرها من العمليات القائمة على فراغ
المظاهر التقليدية ما يلي : اختلاف درجة الحرارة في جميع أنحاء سخان داخل 2-5 ٪ لتصل إلى 2 "وسخان 5-10 ٪ لمدة تصل إلى 12" رقائق قطرها على 800 درجة مئوية. يمكن التحكم في درجة الحرارة من رقاقة أو داخل الركيزة 1 درجة مئوية.
السخانات متوفرة في
1) 1.6 بوصة المنطقة الساخنة OD 2.0 بوصة مع ذوي الياقات البيضاء ،
2) 2.2 بوصة مع سخان OD 3 بوصة قلادة
3) 3.1 بوصة مع سخان OD 3.5 بوصة قلادة
4) سخان OD 4.1 بوصة مع 4.5 بوصة قلادة
وتستغل جميع الياقات مترابطة مع الثقوب المتزايدة لعينة