Ένας ηγέτης στην παροχή καλά σχεδιασμένη και διαδικασία συμβατές συσκευές θέρμανσης υπόστρωμα για thin film μας Ε & Α και τους πελάτες κατασκευής που εργάζονται στους τομείς των ηλεκτρονικών, οπτοηλεκτρονική, φωτονική, η μικροηλεκτρονική, την περιβαλλοντική επιστήμη, λεπτό κινηματογραφική παραγωγή και τη συσκευασία, η βιοτεχνολογία, οι ημιαγωγοί, εφαρμόζεται και φυσική στερεάς κατάστασης , χημεία, μηχανική και λεπτή συσκευή φιλμ και τεχνολογιών.
Οι θερμαντικές συσκευές υπόστρωμα Blue Wave είναι ειδικά σχεδιασμένο για τεχνολογίες λεπτής εναπόθεση φιλμ, όπως η εναπόθεση ατμού με φυσική και χημική εναπόθεση ατμών. Οι θερμαντικές συσκευές υπόστρωμα αποτελείται από υψηλής ειδικότητας οξείδωση θερμοκρασία και χημική αντοχή κράματα μετάλλων με ενσωματωμένο υψηλής κεραμικά χημική αντοχή θερμοκρασίας συμβατό με κενό, το οξυγόνο και τα αντιδραστικά αέρια κατά τη λειτουργία έως και 900 ° C, και σε αδρανή ή κενό μέχρι 1000 ° C. Θερμαντήρες Blue Wave έχουν εξαιρετική ομοιομορφία της θερμοκρασίας σε όλη την επιφάνεια θέρμανσης ώστε να εξασφαλισθεί ενιαία θερμοκρασία για υποστρώματα για την ομοιόμορφη λεπτή μεμβράνη, επίστρωση, και η υψηλή απόδοση στην κατασκευή της συσκευής.
Blue Wave προσφέρει δύο τεχνολογίες, ένα αφιερωμένο για τις διαδικασίες με βάση οξείδιο ή αντιδραστικά, και άλλες με βάση τις διαδικασίες κενό
Τυπικά χαρακτηριστικά γνωρίσματα περιλαμβάνουν: Μεταβολή θερμοκρασίας σε όλη τη θερμάστρα είναι σε 2-5% για έως και 2 "θερμάστρα και 5-10% για έως και 12" διαμέτρου γκοφρέτες στους 800 ° C. Θερμοκρασία από μια γκοφρέτα ή υπόστρωμα μπορεί να ελεγχθεί μέσα σε 1 ° C.
Θερμοσίφωνες είναι διαθέσιμα σε
1) 1.6 ιντσών ζώνη OD ζεστό με 2,0 ιντσών, γιακά,
2) 2,2 ιντσών θερμάστρα OD με 3 ιντσών γιακά
3) 3,1 ιντσών θερμάστρα OD 3,5 ιντσών με κολάρο
4) 4.1 ιντσών θερμάστρα OD με 4,5 ιντσών γιακά
Όλα τα περιλαίμια αξιοποιηθεί με σπείρωμα τρύπες για την στερέωση του δείγματος