Un líder en el suministro de bien diseñado y calentadores de proceso compatible con sustrato de nuestra película delgada de I + D y los clientes industriales relativos al trabajo en las áreas de la electrónica, la optoelectrónica, la fotónica, la microelectrónica, ciencias ambientales, la producción de película delgada y el embalaje, la biotecnología, semiconductores, aplicada y física del estado sólido , la química y la ingeniería fina película de dispositivos y tecnologías.
Calentadores de Blue Wave de sustrato están especialmente diseñados para deposición de película delgada tecnologías tales como la deposición física de vapor y la deposición química de vapor. Calentadores de sustrato se compone de la oxidación de la temperatura alta especialidad y aleaciones metálicas resistentes a productos químicos con la cerámica de alta temperatura integrado resistente a productos químicos compatibles con los gases de vacío, oxígeno y reactivos en funcionamiento hasta 900 ° C, y en inertes o vacío de hasta 1000 ° C. Calentadores de Blue Wave han uniformidad de la temperatura excepcional a través del área de superficie del calentador para proporcionar una temperatura uniforme para los sustratos de capa fina y uniforme, la capa, y de alto rendimiento en la fabricación del dispositivo.
Blue Wave ofrece dos tecnologías, una dedicada a los procesos a base de óxido o reactiva, y otros sobre la base de procesos de vacío
Las características típicas incluyen: variación de la temperatura en todo el calentador está dentro de 2-5% para un máximo de 2 "calentador y un 5-10% de hasta 12" de diámetro en obleas de 800 ° C. La temperatura de una oblea o sustrato puede ser controlado dentro de 1 ° C.
Calentadores están disponibles en
1) 1,6 pulgadas OD zona caliente con el cuello de 2,0 pulgadas,
2) 2,2 pulgadas de diámetro exterior con calentador de 3 pulgadas de collar
3) de 3,1 pulgadas de diámetro exterior con calentador de 3,5 pulgadas de collar
4) 4,1 pulgadas de diámetro exterior del calentador con 4,5 pulgadas de collar
Todos los collares están intervenidos con agujeros para montaje de la muestra