Une amorce en fournissant les chaufferettes compatibles bien conçues et de processus de substrat à nos abonnées de R&D et de fabrication de film mince travaillant dans les zones de l'électronique, optoélectronique, photonique, la microélectronique, les sciences de l'environnement, production de film mince et emballage, biotechnologie, semi-conducteurs, s'est appliquée et physique solide, chimie, et concevoir et technologies de dispositif de film mince.
Des chaufferettes du substrat de l'Onde Bleue sont particulièrement conçues pour des technologies de dépôt de film mince telles que le dépôt en phase vapeur matériel et la déposition en phase vapeur. Des chaufferettes de Substrat se composent d'oxydation de température élevée de spécialité et d'alliages résistants chimiques en métal avec la céramique résistante chimique de température élevée intégrée compatible à l'aspirateur, à l'oxygène et aux gaz réactifs tout en fonctionnant jusqu'à 900°C, et dans inerte ou l'aspirateur jusqu'aux chaufferettes de l'Onde 1000°C. Bleue ayez l'uniformité exceptionnelle de la température en travers de la surface de chaufferette pour fournir la température uniforme pour des substrats pour le film mince uniforme, la couche, et le rendement élevé dans la fabrication de dispositif.
L'Onde Bleue fournit deux technologies, une consacrée pour des procédés basés ou réactifs d'oxyde, et autre basée sur des procédés d'aspirateur
Les caractéristiques techniques Particulières comprennent : La variation de la Température dans toute la chaufferette est à moins de 2-5% pour jusqu'à 2" chaufferette et 5-10% pour jusqu'à 12" des disques de diamètre à la Température 800°C. d'un disque ou d'un substrat peut être réglé dans 1°C.
Les Chaufferettes sont disponibles dedans
1) zone chaude de 1,6 pouces OD avec le collier de 2,0 pouces,
2) chaufferette de 2,2 pouces OD avec le collier de 3 pouces
3) chaufferette de 3,1 pouces OD avec le collier de 3,5 pouces
4) chaufferette de 4,1 pouces OD avec le collier de 4,5 pouces
Tous Les colliers sont filetés avec les trous filetés pour le montage témoin