전자공학, 광전자공학, 마이크로 전자공학 photonic, 환경 과학, 박막 생산의 지역에서 일하고, 생물공학 포장해 공급에 있는 지도자는, 우리의 박막 연구 및 개발과 제조 고객에게 잘 설계되는 가공 호환성 기질 히이터 반도체, 와 고체 물리학, 화학, 그리고 박막 장치 설계 및 기술 적용했습니다.
파란 파의 기질 히이터는 물리적인 수증기 공술서 및 화학 수증기 공술서와 같은 박막 공술서 기술을 위해 특별히 디자인됩니다. 기질 히이터는 진공, 산소 및 민감하는 가스에 양립한 통합 고열 화학 저항하는 세라믹스를 가진 특기 고열 산화 그리고 화학 저항하는 금속 합금으로 900°C까지 작전하고 있는 동안 구성되고, 1000°C. 파란 파의 히이터까지 비활성 진공에서 장치 제작에 있는 획일한 박막, 코팅 및 높은 수확량을 위한 기질을 획일한 온도를 제공하는 히이터 표면을 통해 특별하은 온도 균등성이 있으십시오.
파란 파는 2개의 기술을, 것 산화물 기지를 두거나 민감하는 프로세스를 위해 전념한, 그리고 진공 프로세스에 근거를 둔 그 외 제공합니다
전형적인 특징은 다음을 포함합니다: 히이터를 통하여 온도 변이는 2" 까지를 위해 2-5% 안에 히이터 있고 12" 까지를 위해 5-10%는 웨이퍼 기질의 800°C. 온도에 직경 웨이퍼 1°C. 안에서 통제될 수 있습니다.
히이터는 안으로 유효합니다
1) 2.0 인치 고리를 가진 1.6 인치 OD 최신 지역,
2) 3 인치 고리를 가진 2.2 인치 OD 히이터
3) 3.5 인치 고리를 가진 3.1 인치 OD 히이터
4) 4.5 인치 고리를 가진 4.1 인치 OD 히이터
모든 고리는 견본 설치를 위한 스레드한 구멍으로 두드려집니다