Een leider in het leveren van de goed ontworpen en verwarmers van het proces compatibele substraat aan onze dunne film R&D en de productie van klanten die op het gebied van elektronika, opto-elektronica, photonic, micro-elektronica, milieuwetenschap, dunne filmproductie en verpakking werken, biotechnologie, halfgeleiders, schreef en fysica in vaste toestand, chemie, en de technologieën van het dunne filmapparaat de techniek en in.
De het substraatverwarmers worden van de Blauwe Golf speciaal ontworpen voor de technologieën van het dunne filmdeposito zoals fysiek dampdeposito en chemische dampdeposito. De verwarmers van het Substraat zijn samengesteld uit specialiteitoxydatie op hoge temperatuur en de chemische bestand metaallegeringen met geïntegreerde chemische bestand compatibele keramiek op hoge temperatuur om te zuigen, zuurstof en reactieve gassen terwijl het werken tot 900°C, en in inert of vacuüm tot de verwarmers van de Blauwe Golf 1000°C. hebben uitzonderlijke temperatuuruniformiteit over verwarmeroppervlakte om eenvormige temperatuur voor substraten voor eenvormige dunne film, deklaag, en hoge opbrengst in apparatenvervaardiging te verstrekken.
De Blauwe Golf verstrekt twee technologieën, specifieke één voor gebaseerd oxyde of reactieve processen, en andere gebaseerd op vacuümprocessen
De Typische eigenschappen omvatten: De variatie van de Temperatuur door de verwarmer is binnen 2-5% voor“ verwarmer maximaal 2 en 5-10% voor maximaal 12 " diameterwafeltjes bij Temperatuur 800°C. van een wafeltje of een substraat kan binnen 1°C. worden gecontroleerd.
De Verwarmers zijn binnen beschikbaar
1) 1.6 duimOD hete streek met 2.0 duimkraag,
2) 2.2 duimOD verwarmer met 3 duimkraag
3) 3.1 duimOD verwarmer met 3.5 duimkraag
4) 4.1 duimOD verwarmer met 4.5 duimkraag
Alle kragen worden onttrokken met ingepaste gaten voor steekproefsteun