Um líder no fornecimento calefatores compatíveis bem-desenvolvida e do processo da carcaça a nossos clientes do R&D e da fabricação do filme fino que trabalham nas áreas da eletrônica, óptica electrónica, fotónico, microeletrônica, ciência ambiental, produção do filme fino e empacotando, biotecnologia, semicondutores, aplicou-se e física de circuito integrado, química, e planejamento e tecnologias do dispositivo do filme fino.
Os calefatores da carcaça da Onda Azul são projectados especialmente para tecnologias do depósito do filme fino tais como o depósito de vapor físico e o depósito de vapor químico. Os calefatores da Carcaça são compor da oxidação de alta temperatura da especialidade e de ligas resistentes químicas do metal com a cerâmica resistente química de alta temperatura integrada compatível ao vácuo, ao oxigênio e aos gáss reactivos ao operar-se até 900°C, e em inerte ou no vácuo até os calefatores da Onda 1000°C. Azul tenha a uniformidade excepcional da temperatura através da área de superfície do calefator para fornecer a temperatura uniforme para carcaças para o filme fino uniforme, o revestimento, e o rendimento alto na fabricação do dispositivo.
A Onda Azul fornece duas tecnologias, uma dedicada para processos baseados ou reactivos do óxido, e outro baseada em processos do vácuo
As características Típicas incluem: A variação da Temperatura durante todo o calefator está dentro de 2-5% para até 2" calefator e 5-10% para até 12" bolachas do diâmetro na Temperatura 800°C. de uma bolacha ou de uma carcaça podem ser controlado dentro de 1°C.
Os Calefatores estão disponíveis dentro
1) zona quente do OD de 1,6 polegadas com o colar de 2,0 polegadas,
2) calefator do OD de 2,2 polegadas com o colar de 3 polegadas
3) calefator do OD de 3,1 polegadas com o colar de 3,5 polegadas
4) calefator do OD de 4,1 polegadas com o colar de 4,5 polegadas
Todos Os colares são batidos com furos rosqueados para a montagem da amostra