Лидером по поставкам хорошо разработаны и процесс совместимы обогреватели подложки нашей тонкой пленки R & D и производство клиентов, работающих в области электроники, оптоэлектроники, фотонные, микроэлектроники, экологии, тонкие кинопроизводства и упаковочных материалов, биотехнологий, полупроводников, прикладной и физики твердого тела , химии и тонкого приборостроения фильм и технологий.
Нагреватели Blue Wave в подложке разработаны специально для тонких пленок таких технологий, как физическое осаждение из паровой фазы и химического осаждения из паровой фазы. Субстрат обогреватели состоят из специальных высокотемпературного окисления и химической стойкости и металлических сплавов с интегрированным высокой температуры химической стойкости и керамики совместима с вакуум, кислород и химически активных газов во время работы до 900 ° С, а в инертной или вакууме до 1000 ° C. Нагреватели Blue Wave в имеют исключительное распределение температуры по всей площади поверхности нагревателя, чтобы обеспечить равномерную температуру для подложек для равномерной тонкой пленки, покрытия и высокой урожайности в устройство изготовления.
Blue Wave предоставляет две технологии, один предназначен для основе оксида или реактивных процессов, и другие на основе вакуумных процессов
Типичные особенности включают в себя: изменение температуры по всему нагреватель в течение 2-5% на срок до 2 "нагревателя и 5-10% на срок до 12" пластин диаметром 800 ° С. Температура пластины или подложки можно управлять с точностью до 1 ° C.
Обогреватели выпускаются в
1) 1,6 дюймовый диаметр горячей зоны с 2,0-дюймовый воротник,
2) 2,2-дюймовый нагреватель диаметром 3 дюйма с воротником
3) 3.1 дюймовый нагреватель диаметром 3,5 дюйма с воротником
4) 4.1 дюймовый OD нагреватель с 4,5 дюймовым воротник
Все воротники постучал с резьбовыми отверстиями для монтажа образца