En ledare i att leverera väl utformade och process-kompatibel värmare substrat till vårt tunn film FoU och kunder tillverkning arbetar inom områdena elektronik, optoelektronik, fotoniska, mikroelektronik, miljövetenskap, tunn film produktion och förpackning, bioteknik, halvledare, tillämpad och fasta tillståndets fysik , kemi och tunn film enhet teknik och teknik.
Blue Wave är substrat värmare är speciellt utformad för tunn teknik film nedfall såsom fysisk förångningsdeposition och kemiska förångningsdeposition. Substrat värmare består av specialprodukter hög temperatur oxidation och kemiskt resistenta metallegeringar med integrerad hög resistenta temperatur kemisk keramik kompatibel med vakuum, syre och reaktiva gaser samtidigt som du kör upp till 900 ° C, och i inert eller dammsug upp till 1000 ° C. Blue Wave är värmeelement har exceptionell temperatur enhetlighet i hela värmaren yta för att ge jämn temperatur på substrat för enhetlig tunn film, beläggning och hög avkastning i enhetens tillverkning.
Blue Wave ger två tekniker, en dedikerad för oxid baserat eller reaktiva processer och andra baserade på vakuum processer
Typiska funktioner: Temperatur variation över hela värmaren är inom 2-5% för upp till 2 "värmaren och 5-10% i upp till 12" diameter rån vid 800 ° C. Temperatur på ett rån eller substrat kan kontrolleras inom 1 ° C.
Värmare finns i
1) 1,6-tums OD heta zonen med 2,0 tums krage,
2) 2,2-tums OD värmare med 3 tum krage
3) 3,1 tums OD värmare med 3,5 tums krage
4) 4,1 tums OD värmare med 4,5 tums krage
Samtliga kragar är gängade med gängade hål för prov montering