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由蓝色通知半导体的基体加热器

在提供设计好和处理兼容基体加热器的一位领导先锋给包装我们的薄膜 R&D 和制造的客户从事在电子,光电子学,光子,微电子学,环境科学,薄膜生产区和,生物工艺学,半导体,适用和固态物理学,化学和薄膜设备设计和技术。

蓝色通知的基体加热器为薄膜证言技术特殊地设计例如实际蒸气喷镀和化学气相沉积。 基体加热器由专业高温氧化作用和化工抗性金属合金组成与集成高温化工抗性陶瓷兼容对真空、氧气和易反应的气体,当运行至 900°C 时,并且在惰性或真空至 1000°C. 蓝色通知的加热器请有例外温度均一在提供统一温度的加热器表面间为基体统一薄膜、涂层和高产量的在设备制造。

蓝色通知提供二技术,为氧化物基于或易反应的进程投入的在真空进程基础上的一和其他

典型的功能包括: 在加热器中的温度差异在 2-5% 之内 2" 的加热器,并且 5-10% 12" 的在 800°C. 薄酥饼或基体的温度的直径薄酥饼可以是受控的在 1°C. 内。

加热器是可用的
1) 1.6 有 2.0 英寸衣领的英寸 OD 热区域,
2) 有 3 英寸衣领的 2.2 英寸 OD 加热器
3) 有 3.5 英寸衣领的 3.1 英寸 OD 加热器
4) 有 4.5 英寸衣领的 4.1 英寸 OD 加热器
所有衣领开发与范例挂接的穿线的漏洞

Last Update: 11. January 2012 04:36

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