Básicos filamento caliente ECV del sistema (HFCVD)
Seis manera Cámara de acero inoxidable (integrado de refrigeración por agua) capaces de alcanzar niveles de vacío de hasta 10 -8 Torr con la opción de la bomba turbo molecular y respaldado por una bomba mecánica elección. Viene con 8 "CONFLAT bridas, dos de los cuales están diseñados para poder girar. Algunos de los puertos tendrá ya sea de 8 "en bridas ciegas o ventanas ópticas.
Los seis manera cruzada cámara de acero inoxidable se puede personalizar con una cámara de carga de bloqueo de adjuntos, y la válvula neumática de entrada con conductos de transferencia de muestras para el traslado de las muestras a un escenario de alta temperatura.
Filamentos de alambre caliente (1-3) montado en molibdeno o inconel se encuentra capaz de alcanzar hasta 2500 ° C para romper los precursores de las enfermedades cardiovasculares gas.
Fuente de alimentación capaz de suministrar energía necesaria para alcanzar los filamentos a la temperatura deseable y compatible con el control de la computadora.
Tres dedicados controladores de flujo másico de varios rangos 0-10 sccm, 000-100 sccm, 000-500 sccm, capaz de controlar la computadora. Fuente de alimentación y cable incluido.
Sondeado por los gases del proceso siguiente, capaces de procesos con un mínimo de tres gases en un momento con el flujo y control de la presión: el hidrógeno dedicadas, líneas de gas metano.
Posible instalación de interruptores manuales con interruptor manual entre los gases de proceso. Ajuste fino a través de la presión de controlar la velocidad de la bomba de turbo (con capacidad de control a través del ordenador).
Bridas, incluyendo las ventanas de óptica y de gas y alimentación eléctrica. Vacuómetro para la presión de base y monitoreo de la presión del proceso.
De acero para montaje en rack con la adaptación de los puertos de vacío, válvulas de compuerta para la conexión de la bomba de vacío turbo de alta. Válvulas, tubos de acero inoxidable, tuberías, interruptores y cableado instalado. Líneas de acero inoxidable, tuberías para gases con todas las conexiones están soldadas o VCR. Los cables de alimentación de los aparatos eléctricos incluidos
Componentes (opcional):
- 1.Con pie 2,2 en OD y calentador de sustrato de fuente de alimentación:
- Versátil 2.2 "calentador de sustrato de diámetro (temperatura máxima 800 ° C y la temperatura de la falta de uniformidad en toda la oblea dentro de 2-5%) con un controlador para la calefacción de sustrato. (Incluye fuente de alimentación programable Eurotherm proceso, con regulador de temperatura activa, cables, conectores y termopares).
- Con el calentador de sustrato y la rotación: 10 rpm de rotación del sustrato para la uniformidad mejor película
- Sesgo Listo para 500V (AC o DC): la capacidad de polarización durante el crecimiento de película fina.
- LoadLock con válvula de compuerta y la transferencia de la muestra: la cámara de carga de bloqueo tendrá la capacidad de vacío de la gama de Torr 10-5-10-6. Incluye dos medidores de presión estándar de comunicación con bombas turbo.
- RGA capacidades
- Espectroscopia óptica