Système Chaud De base de CVD de Filament (HFCVD)
Six cavités d'acier inoxydable de voie (refroidissement par eau intrinsèque) capables d'atteindre l'aspirateur nivellent jusqu'à 10-8 Torr avec une pompe moléculaire optionnelle de turbo et reculés par une pompe mécanique bien choisie. Venez avec 8" les ailes horizontales de conflat, deux dont sont conçus pour être rotatifs. Quelques ports auront 8" des ailes horizontales de blanc ou hublots optiques.
Les six cavités croisées d'acier inoxydable de voie sont personnalisables avec une cavité de verrou jointe de charge, et la soupape à vanne pneumatique avec le conducteur de transfert d'échantillon pour le transfert des échantillons sur un stade de température élevée.
Les filaments Chauds de fil (1-3) montés en circuit moly ou l'inconel reste capable de l'extension jusqu'à 2500°C pour briser des précurseurs de gaz de CVD.
Bloc d'alimentation capable de fournir l'alimentation électrique requise d'atteindre des filaments à la température désirable et compatible à la gestion par ordinateur.
Trois ont consacré des Contrôleurs d'Écoulement de la Masse de sccm varié des domaines 0-10, 0-100 le sccm, le sccm 0-500, capable de la gestion par ordinateur. Bloc d'alimentation et câble compris.
Mis D'aplomb pour les gaz de processus suivants, capable des procédés avec au moins 3 gaz en même temps avec le flux et le contrôle de la pression : hydrogène dédié, gazoducs de méthane.
Installation Possible avec les contacts manuels avec le contact manuel entre les gaz de processus. Réglage Fin de pression par la vitesse de réglage de la turbopompe (capable du contrôle par l'ordinateur).
Ailes Horizontales, y compris les hublots et le gaz optique et le conducteur électrique. Outil d'Aspirateur pour la surveillance de pression de culot et de pression de procédé.
Montage sur bâti En Acier avec l'aspirateur adaptant les ports, soupapes à vanne pour connecter la pompe de turbo de vide poussé. Soupapes, tuyauterie d'acier inoxydable, tuyauterie rigide, contacts et cablage, installés. Lignes de tuyauterie d'acier inoxydable pour des gaz avec toutes les connexions étant soudées ou MAGNÉTOSCOPE. Câbles d'alimentation pour les appareils électriques compris
Composants (Optionnels) :
- 1.With gabarit 2,2 dans la chaufferette et le Bloc d'Alimentation de substrat d'OD :
- 2,2" Versatile chaufferette de substrat de diamètre (la température irrégularité maximum de 800°C et de température en travers du disque à moins de 2-5%) avec le Contrôleur pour le chauffage de substrat. (Comprend le Bloc d'Alimentation programmable de processus d'Eurotherm, avec le Contrôleur de température, les câbles, le thermocouple et les connecteurs actifs).
- Avec la chaufferette et la rotation de substrat : rotation de substrat de 10 t/mn pour une meilleure uniformité de film
- Polarisation Disponible pour 500V (COURANT ALTERNATIF ou C.C) : Polariser la capacité pendant l'accroissement de film mince.
- Loadlock avec la soupape à vanne et le transfert d'échantillon : La cavité de verrou de Charge aura la capacité d'aspirateur de 10-5-10-6 Torr de domaine. Comprend 2 indicateurs de pression normale communiquant avec des pompes de turbo.
- Capacités de RGA
- Spectroscopie Optique