बेसिक गरम रेशा सीवीडी प्रणाली (HFCVD)
छह तरह स्टेनलेस स्टील (पानी ठंडा निर्मित) कक्ष निर्वात स्तर तक पहुँचने एक वैकल्पिक टर्बो आणविक पंप के साथ 10 -8 Torr के लिए और एक विकल्प यांत्रिक पंप द्वारा समर्थित में सक्षम . 8 "conflat flanges, जिनमें से दो के लिए rotatable तैयार हो रहे हैं के साथ आता है. कुछ बंदरगाहों या तो 8 "रिक्त flanges या ऑप्टिकल खिड़कियों होगा.
छह रास्ता पार स्टेनलेस स्टील चैम्बर एक संलग्न लोड जलबंधक के साथ अनुकूलन योग्य है, और साँस का नमूना हस्तांतरण feedthrough के साथ एक उच्च तापमान मंच पर नमूने के हस्तांतरण के लिए गेट वाल्व.
गरम तार filaments (1-3) पर घुड़सवार Moly या inconel ° सीवीडी गैस व्यापारियों को तोड़ने के लिए सी 2500 तक पहुँचने की सक्षम खड़ा है.
विद्युत आपूर्ति करने के लिए वांछनीय तापमान और कंप्यूटर को नियंत्रित करने के लिए संगत में filaments तक पहुँचने के लिए आवश्यक बिजली पहुंचाने का सक्षम है.
तीन विभिन्न 0-10 SCCM पर्वतमाला, 0-100 SCCM, 0-500 SCCM, कंप्यूटर पर नियंत्रण करने में सक्षम समर्पित मास फ्लो नियंत्रकों. बिजली की आपूर्ति और केबल शामिल हैं.
समर्पित हाइड्रोजन, मीथेन गैस लाइनों: निम्नलिखित प्रक्रिया गैसों, कम से कम 3 gasses के साथ प्रक्रियाओं के प्रवाह और दबाव नियंत्रण के साथ एक समय में सक्षम के लिए plumbed.
प्रक्रिया gasses के बीच में मैनुअल स्विच के साथ मैनुअल स्विच के साथ संभावित सेटअप. टर्बो पंप को नियंत्रित गति कंप्यूटर के माध्यम से नियंत्रण करने में सक्षम के माध्यम से ठीक दबाव समायोजन.
ऑप्टिकल खिड़कियों और गैस और बिजली feedthrough सहित, Flanges. बेस दबाव और प्रक्रिया दबाव की निगरानी के लिए वैक्यूम गेज.
वैक्यूम के साथ स्टील रैक माउंट उच्च वैक्यूम पंप टर्बो को जोड़ने के लिए बंदरगाहों, गेट वाल्व आदत डाल. वाल्व, स्टेनलेस स्टील टयूबिंग, पाइपिंग, स्विच और तारों, स्थापित. सभी वेल्डेड या तो किया जा रहा है या वीसीआर कनेक्शन के साथ गैसों के लिए स्टेनलेस स्टील पाइपलाइन लाइनों. बिजली के उपकरणों के लिए विद्युत केबल शामिल
अवयव (वैकल्पिक):
- 1.With आयुध डिपो सब्सट्रेट हीटर और बिजली की आपूर्ति में 2.2 खड़े:
- बहुमुखी 2.2 "व्यास सब्सट्रेट हीटर (तापमान 800 अधिकतम डिग्री सेल्सियस तापमान वफ़र भर में 2-5% के भीतर गैर एकरूपता) सब्सट्रेट हीटिंग के लिए नियंत्रक के साथ. (Eurotherm प्रक्रिया प्रोग्राम सक्रिय तापमान नियंत्रक, केबल, thermocouple और connectors के साथ विद्युत आपूर्ति, शामिल है).
- बेहतर फिल्म एकरूपता के लिए 10 rpm सब्सट्रेट रोटेशन: सब्सट्रेट हीटर और रोटेशन के साथ
- पूर्वाग्रह 500V (एसी या डीसी) के लिए तैयार: पतली फिल्म के विकास के दौरान क्षमता biasing.
- गेट वाल्व और नमूना हस्तांतरण के साथ Loadlock: लोड जलबंधक 10-5-10-6 Torr रेंज की वैक्यूम क्षमता होगा. 2 मानक दबाव टर्बो पंप के साथ संवाद स्थापित करने गेज शामिल है.
- RGA क्षमताओं
- ऑप्टिकल स्पेक्ट्रोस्कोपी