Het Fundamentele Hete Systeem van CVD van de Gloeidraad (HFCVD)
De kamer van het Zes manierroestvrij staal (ingebouwde waterkoeling) geschikt om vacuümniveaus tot 10 Torr-8 met een facultatieve turbo moleculaire pomp te bereiken en gesteund door een keus mechanische pomp. Komt met 8“ conflatflenzen, twee waarvan om draaibaar worden ontworpen te zijn. Sommige havens zullen of 8“ lege flenzen of optische vensters hebben.
De kamer van het zes manier dwarsroestvrij staal is klantgericht met een kamer in bijlage van het ladingsslot, en pneumatische poortklep met feedthrough van de steekproefoverdracht voor de overdracht van steekproeven op een stadium op hoge temperatuur.
Hete moly opgezette draadgloeidraden (1-3) of inconel tribunes geschikt om tot 2500°C te bereiken voor het breken van het gasvoorlopers van CVD.
De levering van de Macht geschikt om vereiste bevoegdheid te leveren om gloeidraden bij wenselijke temperatuur en compatibel systeem te bereiken aan computercontrole.
Drie wijdden de Controlemechanismen van de Stroom van de Massa van diverse waaiers 0-10 sccm, 0-100 sccm, sccm 0-500, geschikt voor computercontrole. De inbegrepen levering van de Macht en kabel.
Plumbed voor de volgende procesgassen, geschikt voor processen met minstens 3 gassen in één keer met stroom en drukcontrole: specifieke waterstof, methaangasleidingen.
Mogelijke opstelling met handschakelaars met handschakelaar tussen procesgassen. Fijne drukaanpassing door het controleren van snelheid van geschikt turbo-pump (van controle door computer).
Flenzen, met inbegrip van optisch vensters en gas en elektrofeedthrough. Vacuüm maat voor basisdruk en van de procesdruk controle.
Het rek van het Staal zet met vacuüm op aanpassend havens, poortkleppen voor het verbinden van hoge vacuüm turbopomp. Kleppen, geïnstalleerde roestvrij staalbuizenstelsel, door buizen leiden, schakelaars en bedrading. Het loodgieterswerklijnen van het Roestvrij staal voor gassen die met alle aanslutingen of of VIDEO worden gelast. De kabels van de Macht voor inbegrepen elektrisch apparaten
(Facultatieve) Componenten:
- 1.Wiste tribune 2.2 in OD substraatverwarmer en de Levering van de Macht:
- Veelzijdige 2.2“ de verwarmer van het diametersubstraat (temperatuur maximum 800°C en temperatuur niet-uniformiteit over het wafeltje binnen 2-5%) met controlemechanisme voor substraat het verwarmen. (Omvat Eurotherm Levering van de proces de programmeerbare Macht, met actief temperatuurcontrolemechanisme, kabels, thermokoppel en schakelaars).
- Met substraatverwarmer en omwenteling: de omwenteling van het 10 t/minsubstraat voor betere filmuniformiteit
- Bias Klaar voor 500V (AC of GELIJKSTROOM): Beïnvloedend vermogen tijdens de dunne filmgroei.
- Loadlock met van de poortklep en steekproef overdracht: De het slotkamer zal van de Lading vacuümvermogen van 10-5-10-6 Torr waaier hebben. Omvat 2 standaarddrukmaten communicerend met turbopompen.
- Mogelijkheden RGA
- De Optische Spectroscopie