Sistema Quente Básico do CVD do Filamento (HFCVD)
Seis câmaras de aço inoxidável da maneira (refrigerar de água incorporado) capazes de alcançar o vácuo nivelam até 10-8 Torr com uma bomba molecular do turbocompressor opcional e suportados por uma bomba mecânica bem escolhida. Vêm com 8" as flanges do conflat, dois de que são projectados ser rotatable. Algumas portas terão 8" flanges da placa ou indicadores ópticos.
As seis câmaras de aço inoxidável transversais da maneira são customizáveis com uma câmara de fechamento anexada da carga, e a válvula de porta pneumática com passagem de transferência da amostra para transferência das amostras em uma fase de alta temperatura.
Os filamentos Quentes do fio (1-3) montados sobre moly ou o inconel estão capazes do alcance até 2500°C para quebrar precursores do gás do CVD.
Fonte de Alimentação capaz de entregar a potência exigida alcançar filamentos na temperatura desejável e compatível ao controle de computador.
Três dedicaram Controladores do Fluxo Em Massa do vário sccm das escalas 0-10, 0-100 sccm, sccm 0-500, capaz do controle de computador. Fonte e cabo de Alimentação incluídos.
Sondado para os seguintes gáss do processo, capaz dos processos com pelo menos 3 gáss ao mesmo tempo com fluxo e controle de pressão: hidrogênio dedicado, linhas de gás do metano.
Instalação Possível com interruptores manuais com interruptor manual entre gáss do processo. Ajuste Fino da pressão com a velocidade de controlo da turbocompressor-bomba (capaz do controle através do computador).
Flanges, incluindo indicadores e gás óptico e passagem elétrica. Calibre de Vácuo para a monitoração da pressão baixa e da pressão do processo.
Montagem de cremalheira De Aço com o vácuo que adapta as portas, válvulas de porta para conectar a bomba do turbocompressor do vácuo alto. Válvulas, tubulação de aço inoxidável, encanamento, interruptores e fiação, instalados. Linhas de encanamento De aço inoxidável para gáss com todas as conexões que estão sendo soldados ou VCR. Cabos distribuidores de corrente para os dispositivos elétricos incluídos
Componentes (Opcionais):
- 1.With suporte 2,2 no calefator da carcaça do OD e na Fonte de Alimentação:
- 2,2" Versátil calefator da carcaça do diâmetro (temperatura não uniformidade máxima de 800°C e de temperatura através da bolacha dentro de 2-5%) com o controlador para o aquecimento da carcaça. (Inclui a Fonte de Alimentação programável do processo de Eurotherm, com o controlador de temperatura, cabos, o par termoeléctrico e os conectores activos).
- Com calefator e rotação da carcaça: rotação da carcaça de 10 RPM para a melhor uniformidade do filme
- Polarização Pronta para 500V (C.A. ou C.C.): Inclinando a capacidade durante o crescimento de filme fino.
- Loadlock com válvula de porta e transferência da amostra: A câmara de fechamento da Carga terá uma capacidade do vácuo de 10-5-10-6 Torr de escala. Inclui 2 calibres de pressão padrão que comunicam-se com as bombas do turbocompressor.
- Capacidades de RGA
- Espectroscopia Óptica