Основные горячие накаливания сердечно-сосудистых заболеваний системы (HFCVD)
Шесть путь из нержавеющей стали камеры (встроенная водяного охлаждения), способных достичь уровень вакуума до 10 -8 Торр с дополнительным турбо молекулярный насос и при поддержке выбора механический насос. Поставляется с 8 "conflat фланцы, два из которых предназначены для вращающегося. Некоторые порты придется либо 8 "глухие фланцы или оптических окон.
Шесть способ крест из нержавеющей стали камеры настраивается с прикрепленным шлюзовой камеры нагрузки, и пневматические задвижки с образцами передачи проходным для передачи проб на высокой стадии температуры.
Горячие нити проволоки (1-3) установлен на молибден или инконель стенды, способные достигать до 2500 ° C за нарушение прекурсоров ССЗ газа.
Источник питания, способных доставлять необходимую мощность для достижения нитей на желаемую температуру и совместима с компьютерным управлением.
Три посвященных регуляторы массового расхода различных диапазонах 0-10 SCCM, 0-100 SCCM, 0-500 SCCM, способный компьютерного управления. Блок питания и кабель в комплекте.
Протянувшись для следующих технологических газов, способных процессы, по крайней мере 3 газов в одно время с потока и регулирования давления: выделенная водорода, линии метана.
Возможные установки с ручным выключатели с ручным переключателем между процессом газов. Точная регулировка давления путем контроля над скоростью турбо-насос (способный управлять через компьютер).
Фланцы, в том числе оптических окон и газовых и электрических проходной. Вакуумметр для давления базы и процесса мониторинга давления.
Сталь стойку с вакуумным адаптации портов, задвижки для подключения высокого вакуума турбо насос. Клапаны, трубы из нержавеющей стали, труб, выключателей и электропроводки, установлены. Нержавеющая сталь сантехника линий для газов все соединения являются либо сварными или видеомагнитофона. Кабели силовые для электрических приборов включены
Компоненты (по выбору):
- 1.With стенд 2.2 в OD нагреватель подложки и источника питания:
- Универсальный 2,2 "диаметр подложки нагреватель (температура макс 800 ° С и температуре неравномерность по пластине в течение 2-5%) с контроллером для нагрева подложки. (Включая Eurotherm процесс программируемой питания, с активным регулятором температуры, кабели, термопары и разъемов).
- С нагреватель подложки и вращения: 10 оборотов в минуту подложки вращение для лучшего фильма единообразия
- Смещение Готов к 500 В (переменного или постоянного тока): Стабилизатор возможность во время роста тонких пленок.
- Loadlock с клапаном ворота и образец перевода: камеры нагрузки блокировка будет вакуум возможности 10-5-10-6 Тор диапазона. Включает в себя 2 стандартных манометров общения с турбо-насосов.
- RGA возможностями
- Оптическая спектроскопия