Grundläggande Hot Glödlampor CVD System (HFCVD)
Sex sätt kammare av rostfritt stål (inbyggd vattenkylning) kan nå vakuum nivåer upp till 10 -8 Torr med en extra turbo molekylära pumpar och backas upp av ett val mekanisk pump. Levereras med 8 "conflat flänsar, varav två är utformade för att vara vridbart. Vissa hamnar kommer att ha antingen 8 "blindflänsar eller optiska fönster.
De sex vägen korsar kammare av rostfritt stål kan anpassas med en bifogad last slusskammare och pneumatisk avstängningsventil med prov överföra feedthrough för överföring av prover på en hög temperatur skede.
Het tråd filament (1-3) monteras på moly eller inconel står kan nå upp till 2500 ° C för att bryta CVD gas prekursorer.
Strömförsörjning kan leverera krävs för att nå fram till filament på attraktiv temperatur och kompatibelt med datorstyrning.
Tre hängivna Massflödesregulator registeransvariga för olika intervall 0-10 SCCM, 0-100 SCCM, 0-500 SCCM, som kan datorstyrning. Strömförsörjning och kabel medföljer.
Pejlat för följande processgaser, kan processer med minst 3 gaser på en gång med flödes-och tryckreglering: dedikerad vätgas, metangas linjer.
Möjliga inställningar med manuell växlar med manuell växla mellan process gaser. Fint tryck justering genom att kontrollera hastigheten på turbo-pumpen (som kan kontroll genom datorn).
Flänsar, inklusive optiska fönster och gas och elektrisk feedthrough. Vakuummätare bas-tryck och processen tryckövervakning.
Stål rackmonterad med vakuum anpassa portar, slussventiler för anslutning högvakuum turbo pump. Ventiler, rostfria rör, rör, switchar och kablar, installerat. Rostfritt stål rörsystemet för gaser med alla anslutningar som antingen svetsas eller videobandspelare. Kraftkablar för hushållsapparater ingår
Komponenter (tillval):
- 1.Med stå 2,2 i OD substrat värmare och strömförsörjning:
- Mångsidig 2,2 "diameter substrat värmare (temperatur max 800 ° C och temperaturen utanför enhetlighet över hela rånet inom 2-5%) med regulator för substrat uppvärmning. (Inkluderar Eurotherm process programmerbara nätaggregat, med aktiv temperaturkontroll, kablar, termoelement och kontakter).
- Med substrat värmare och rotation: 10 rpm substrat rotation för bättre film enhetlighet
- Bias Redo för 500V (AC eller DC): Polarisering kapacitet under tunn film tillväxt.
- Loadlock med backventil och exempel överföring: Load slusskammare kommer att ha vakuum förmåga 10-5-10-6 Torr sortiment. Inkluderar 2 standard tryckmätare kommunicera med turbo pumpar.
- RGA kapacitet
- Optisk spektroskopi