Basic Hot Filament CVD System (HFCVD)
Anim na paraan hindi kinakalawang na asero kamara (built-in na tubig paglamig) kaya ng maabot ang antas ng vacuum hanggang sa 10 -8 Torr sa isang opsyonal na turbo molecular bomba at back sa pamamagitan ng pagpili ng isang makina bomba. Pagdating sa 8 "conflat flanges, dalawang na kung saan ay dinisenyo upang rotatable. Ang ilang mga ports ay alinman sa 8 "blangko flanges o optical windows.
Ang anim na paraan cross kamara hindi kinakalawang na asero ay napapasadyang na may isang naka-attach na lock ng load ng silid, at niyumatik gate balbula sa feedthrough ng sample transfer para sa paglipat ng mga halimbawa papunta sa isang mataas na temperatura ng entablado.
Hot wire filament (1-3) inimuntar sa moly o inconel ibig sabihin kaya ng maabot ang hanggang sa 2500 ° C para sa paglabag CVD precursors gas.
Power supply kaya ng paghahatid ng kinakailangang kapangyarihan upang maabot ang mga filament sa kanais-nais na temperatura at tugmang sa kontrol ng computer.
Tatlong nakatuon Mass Daloy Controllers ng iba't ibang saklaw ng 00-10 sccm, 0-100 sccm, 000-500 sccm, kaya ng computer control. Power supply at cable kasama.
Plumbed para sa mga sumusunod na gas proseso, kakayahan ng mga proseso na may hindi bababa sa 3 mga gasses sa isang oras na may kontrol sa daloy at presyon: nakatuon hydrogen, mga linya ng mitein gas.
Posibleng setup sa manual Lilipat sa manu-manong lumipat sa pagitan ng mga gasses proseso. Fine adjustment ng presyon sa pamamagitan ng pagkontrol sa bilis ng turbo-bomba (kaya ng control sa pamamagitan ng computer).
Flanges, kabilang ang mga optical windows at gas at electrical feedthrough. Vacuum sukatin para sa base presyon at presyon pagsubaybay sa proseso.
Steel pakainan umahon sa vacuum adaptasyon ng mga ports, gate valves para sa pagkonekta ng mataas na vacuum turbo bomba. Valves, hindi kinakalawang na asero patubigan, mga tubo, Lilipat at mga kable, na naka-install. Hindi kinakalawang na asero pagtutubero linya para sa mga gas sa lahat ng mga koneksyon na alinman sa welded o vcr. Power cables para sa mga de-koryenteng kasangkapan na kasama
Bahagi (Opsyonal):
- 1.With tumayo 2.2 sa OD substrate initan at Power Supply:
- Maraming nagagawa 2.2 "diameter ng substrate pampainit (temperatura max 800 ° C at temperatura ng hindi pagkakapareho sa ang ostiya sa loob ng 2-5%) sa controller para sa pagpainit ng substrate. (Kasama Eurotherm proseso Programmable Power Supply, na may aktibong temperatura controller, cables, termoelemento at Connectors).
- Sa substrate initan at pag-ikot: 10 rpm substrate pag-ikot para sa mas mahusay na film pagkakapareho
- Bias Handa para sa 500V (AC o DC): Biasing kakayahan sa panahon ng manipis na paglago ng film.
- Loadlock sa gate balbula at sample transfer: nakakandado na lugar ng load ay magkakaroon ng kakayahan ng vacuum ng 10-5-10-6 Torr hanay. Kasama ang 2 standard presyon gauges pakikipag-usap sa mga turbo na sapatos na pangbabae.
- RGA kakayahan
- Optical Spectroscopy