基本的热细丝 CVD 系统 (HFCVD)
六个方式不锈钢房间 (固定水冷却) 能够到达真空成水平 10-8 乇与一个选项涡轮分子泵和返回由挑选机械泵。 来与 8" conflat 耳轮缘，二被设计是可旋转的。 那些端口将有 8" 空白耳轮缘或光学视窗。
六个方式交叉不锈钢房间是定制与一个附上负荷船闸室和气动力学的闸式阀有范例调用引线的范例调用的在一个高温阶段上。
热线 (1-3) 被挂接的细丝 moly 或 inconel 立场能够到达至 2500°C 中断的 CVD 气体前体。
供电能够提供必需的功率到达细丝在理想的温度和兼容对计算机控制。
三投入流量管理员多种范围 0-10 sccm， 0-100 sccm， 0-500 sccm，有能力在计算机控制上。 包括的供电和电缆。
一次测量深度为下列处理气体，有能力在与至少 3 气体的进程上与流和压力控制： 专用的氢，甲烷气线路。
与手控开关的可能的设置有在处理气体之间的手控开关的。 细致的压调整通过涡轮泵的控制速度 (有能力在控制上通过计算机)。
耳轮缘，包括光学视窗和气体和电子引线。 底压和进程压监控的真空表。
与适应端口，连接的高真空涡轮泵闸式阀的真空的钢机架固定件。 阀门、不锈钢管材、管道系统、切换和接线，安装。 不锈钢气体的铅锤线与所有连接数被焊接的或录象机。 包括的电气用品的电缆
要素 (选项) ：
- 1.With 立场 2.2 在 OD 基体加热器和供电：
- 多才多艺 2.2" 直径基体加热器 (温度在薄酥饼间的最大 800°C 和温度不一致在 2-5% 之内) 有基体热化的管理员的。 (包括 Eurotherm 处理可编程序的供电，与有效的温度调解器、电缆、热电偶和连接)。
- 基体加热器和循环： 10 个转每分钟更好的影片均一的基体循环
- 偏心准备好 500V (AC 或 DC) ： 偏心在薄膜增长期间的功能。
- 与闸式阀和范例调用的 Loadlock ： 负荷船闸室将有 10-5-10-6 乇的真空功能范围。 包括联络与涡轮泵的 2 个标准压力测量仪。
- RGA 功能
- 光学分光学