基本的熱細絲 CVD 系統 (HFCVD)
六個方式不鏽鋼房間 (固定水冷卻) 能够到達真空成水平 10-8 乇與一個選項渦輪分子泵和返回由挑選機械泵。 來與 8" conflat 耳輪緣，二被設計是可旋轉的。 那些端口將有 8" 空白耳輪緣或光學視窗。
六個方式交叉不鏽鋼房間是定製與一個附上負荷船閘室和氣動力學的閘式閥有範例調用引線的範例調用的在一個高溫階段上。
熱線 (1-3) 被掛接的細絲 moly 或 inconel 立場能够到達至 2500°C 中斷的 CVD 氣體前體。
供電能够提供必需的功率到達細絲在理想的溫度和兼容對計算機控制。
三投入流量管理員多種範圍 0-10 sccm， 0-100 sccm， 0-500 sccm，有能力在計算機控制上。 包括的供電和電纜。
一次測量深度為下列處理氣體，有能力在與至少 3 氣體的進程上與流和壓力控制： 專用的氫，甲烷氣線路。
與手控開關的可能的設置有在處理氣體之間的手控開關的。 細致的壓調整通過渦輪泵的控制速度 (有能力在控制上通過計算機)。
耳輪緣，包括光學視窗和氣體和電子引線。 底壓和進程壓監控的真空表。
與適應端口，連接的高真空渦輪泵閘式閥的真空的鋼機架固定件。 閥門、不鏽鋼管材、管道系統、切換和接線，安裝。 不鏽鋼氣體的鉛錘線與所有連接數被銲接的或錄像機。 包括的電氣用品的電纜
要素 (選項) ：
- 1.With 立場 2.2 在 OD 基體加熱器和供電：
- 多才多藝 2.2" 直徑基體加熱器 (溫度在薄酥餅間的最大 800°C 和溫度不一致在 2-5% 之內) 有基體熱化的管理員的。 (包括 Eurotherm 處理可編程序的供電，與有效的溫度調解器、電纜、熱電偶和連接)。
- 基體加熱器和循環： 10 个轉每分鐘更好的影片均一的基體循環
- 偏心準備好 500V (AC 或 DC) ： 偏心在薄膜增長期間的功能。
- 與閘式閥和範例調用的 Loadlock ： 負荷船閘室將有 10-5-10-6 乇的真空功能範圍。 包括聯絡與渦輪泵的 2 個標準壓力測量儀。
- RGA 功能
- 光學分光學