Nano 찰상 검사자는 800 nm 이하 전형적인 간격과 더불어 박막 그리고 코팅의 실제적인 접착 실패의 특성을 위해 특히, 디자인됩니다. Nano 찰상 검사자는 유기와 무기의 분석을 위해 현저하게 이용될 수 있습니다; 연약하고 단단한 코팅. 얇은 다중층 PVD, CVD, PECVD 의 감광저항, 페인트 래커, 장식 필름의 여러가지 다른 모형, 광학 엄호, 방어 마이크로 전자 공학 인 약간 보기 및 그밖 응용을 설명하기 위하여. 기질은 금속 합금, 반도체, 유리의, 유기 및 굴절 물자를 포함하여 단단하거나 연약할, 수 있습니다.
특징
- 다이아몬드 첨필 찰상 방법
- 자동화된 광학적인 현미경 검사
- 피드백 제어 군대 액추에이터
- 찰상 깊이 측정
- ASTM D7187에 양립한
선택권
- 첨필을 긁는 indenter의 광범위.
- Nano/마이크로 경도 측정 모듈
- 진공, 습도 및 온도 제어
- AFM와 Conscan 3D 화상 진찰