الميكروويف البلازما النظام -- GIGAfab A بواسطة TePla PVA

الميكروويف البلازما النظام -- GIGAfab A بواسطة TePla PVA

نظام الميكروويف البلازما GIGAfab A200/300

وGIGAfab A هو صغير للغاية ، عالية الأداء ، ويفر واحدة التلقائي آشر توفير التكلفة المنخفضة للغاية للملكية. وهي مصممة لخدمة تيار أشباه الموصلات الرئيسي تجريد المقاومة ، وإسبانيا. مرحبا بالجرعات زرع مقاومة ، فضلا عن التطبيقات ممس تصنيع وdescum رقاقة لأحجام تصل إلى 300 ملم. خصائص فريدة مثل نظام isotropy قوية ومعدلات عالية في درجات الحرارة الرماد الركيزة المعتدل جعلها أداة مثالية لمجموعة واسعة من رقاقة تنظيف وتجريد تطبيقات مثل :

  • مقاومة وإزالة descum في رقاقة ارتطام
  • الذبيحه إزالة طبقة مقاومة للضوء ، بوليميد ، PMMA الخ.
  • مقاومة سريع ashing بعد جرعة عالية من زرع وراي
  • 300 ملم رقاقة استصلاح
  • إزالة SU - 8 الايبوكسي مقاومة

وGIGAfab مجهز وفريدة من نوعها مع الميكروويف مصدر البلازما المسطحة ، وتوفير معدلات عالية من الرماد على نطاق واسع درجة الحرارة. بالاشتراك مع Chemraz الأختام ، يمكن تطبيق عملية الغازات المفلورة. النظام الأساسي لتكوين وحدات يسمح نظام 200 أو 300 مم باستخدام رقائق الكاسيت ، وكذلك فتح مراكز تحميل FOUP أو SMIF. يتم التحكم في thermoelectrically تشوك رقاقة مع دبابيس من رفع لتحميل RT إلى 250 درجة مئوية. خيار إضافي هو مولد الهيدروجين على شهادة ATEX ، باعتباره نقطة امدادات الغاز الاستخدام.

Last Update: 4. October 2011 14:19

Other Equipment by this Supplier