Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Μικροκυμάτων Plasma Σύστημα - GIGAfab Ένα από PVA Teplá

Μικροκυμάτων Plasma Σύστημα GIGAfab A200/300

Η GIGAfab Α είναι μια εξαιρετικά συμπαγής, υψηλής απόδοσης, αυτόματη Ενιαίου Wafer Asher παρέχουν πολύ χαμηλό κόστος ιδιοκτησίας. Έχει σχεδιαστεί για να εξυπηρετούν τους κύριους ημιαγωγών ρεύμα αντισταθεί απογύμνωση, ESP. υψηλής δόσης εμφύτευση αντισταθούν, καθώς και MEMS-κατασκευή και descum εφαρμογές για τα μεγέθη των πλακιδίων έως 300 mm. Μοναδικά χαρακτηριστικά του συστήματος, όπως ισχυρή ισοτροπίας και υψηλά ποσοστά τέφρας σε μέτριες θερμοκρασίες υποστρώματος να είναι ένα τέλειο εργαλείο για ένα ευρύ φάσμα των πλακιδίων τον καθαρισμό και την απογύμνωση εφαρμογές όπως:

  • Αντιστέκονται στην απομάκρυνση και descum σε γκοφρέτα πρόσκρουση
  • Θυσιών αφαίρεση στρώματος του photoresist, πολυϊμίδια, PMMA κλπ.
  • Γρήγορη αντισταθεί αποτέφρωση μετά από υψηλή δόση εμφυτεύματος και RIE
  • 300 χιλιοστών wafer διεκδικήσει εκ νέου
  • Απομάκρυνση των SU-8 εποξική αντισταθεί

Η GIGAfab Α είναι εξοπλισμένο με ένα μοναδικό επίπεδη πηγή πλάσματος μικροκυμάτων, παρέχοντας υψηλά ποσοστά τέφρας σε ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασίας. Σε συνδυασμό με Chemraz-φώκιες, τα φθοριούχα αέρια διαδικασία μπορεί να εφαρμοστεί. Η αρθρωτή πλατφόρμα επιτρέπει να ρυθμίσετε το σύστημα για 200 ή 300 χιλιοστά γκοφρέτες με χρήση ανοικτού κασέτα καθώς και FOUP ή SMIF σταθμούς φορτίου. Το τσοκ γκοφρέτα με καρφίτσες ανελκυστήρα για τη φόρτωση είναι thermoelectrically ελέγχεται από το ΦΚ στα 250 ° C. Επιπλέον η επιλογή είναι μια ATEX-πιστοποιημένη γεννήτρια υδρογόνου, που ενεργεί ως προμήθεια φυσικού αερίου point-of-χρήση.

Last Update: 4. October 2011 21:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment