Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Système de Plasma d'Hyperfréquences - GIGAfab A par PVA TePla

Système GIGAfab A200/300 de Plasma d'Hyperfréquences

Le GIGAfab A est un Calcinateur Unique extrêmement compact, performant, automatique de Disque assurant très le coût bas de la propriété. Il est conçu pour servir le semi-conducteur principal de flot résistent éliminer, en particulier la salut-dose implantée résistent, ainsi que les demandes de MEMS-fabrication et de descum de disque classe jusqu'à 300 millimètres. Les Seules caractéristiques de système comme l'isotropie intense et les tarifs élevés de frêne aux températures modérées de substrat lui effectuent un outil parfait pour un large éventail de nettoyage de disque et d'applications éliminantes comme :

  • Résistez au démontage et au descum dans envoyer de disque
  • Démontage Sacrificatoire de couche du vernis photosensible, du polyimide, du PMMA Etc.
  • Rapide résistez incinérer après implant à forte dose et RIE
  • récupération de disque de 300 millimètres
  • Le Démontage de l'époxyde SU-8 résistent

Le GIGAfab A est équipé d'une seule source planaire de plasma d'hyperfréquences, fournissant des tarifs élevés de frêne sur une grande plage de températures. En combination avec des Chemraz-Visas, les gaz de processus fluorés peuvent être appliqués. La plate-forme modulaire laisse configurer le système pour des disques de 200 ou 300 millimètres utilisant les stations ouvertes de magasin ainsi que de charge de FOUP ou de SMIF. Le mandrin de disque avec des goupilles d'ascenseur pour charger est thermoelectrically réglé de la DROITE à l'option 250°C. Supplémentaire est un générateur ATEX-certifié d'Hydrogène, agissant en tant qu'approvisionnement en gaz de remarque-de-utilisation.

Last Update: 11. January 2012 04:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment