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माइक्रोवेव प्लाज्मा सिस्टम - PVA TePla द्वारा GIGAfab एक

माइक्रोवेव प्लाज्मा सिस्टम GIGAfab A200/300

GIGAfab एक बहुत कॉम्पैक्ट, उच्च प्रदर्शन, स्वत: एकल वेफर आशेर स्वामित्व के बहुत कम लागत उपलब्ध कराने है. यह सेवा मुख्य धारा अर्धचालक विपठ्ठन, esp के विरोध के लिए डिज़ाइन किया गया है. उच्च खुराक प्रत्यारोपित विरोध के रूप में के रूप में अच्छी तरह से 300 मिमी वफ़र आकार के लिए MEMS विनिर्माण और descum अनुप्रयोगों. मजबूत और मध्यम सब्सट्रेट तापमान पर समस्थानिकता उच्च राख दरों की तरह अद्वितीय प्रणाली विशेषताओं वफ़र सफाई और विपठ्ठन जैसे अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए एक आदर्श उपकरण बनाते हैं:

  • Bumping वफ़र में हटाने और descum विरोध
  • Photoresist की बलि परत को हटाने, polyimide, PMMA आदि
  • फास्ट उच्च खुराक प्रत्यारोपण और आर.आई.ई. के बाद ashing विरोध
  • 300 मिमी वफ़र को पुनः प्राप्त
  • SU-8 epoxy के हटाने का विरोध

GIGAfab एक अद्वितीय planar माइक्रोवेव प्लाज्मा स्रोत के साथ सुसज्जित है, एक व्यापक तापमान रेंज के अधिक उच्च राख दरों को उपलब्ध कराने. Chemraz के जवानों के साथ संयोजन में, fluorinated प्रक्रिया गैसों लागू किया जा सकता है. मॉड्यूलर मंच के लिए 200 या 300 मिमी वेफर्स का उपयोग कर खुले रूप में के रूप में अच्छी तरह से कैसेट FOUP या SMIF लोड स्टेशनों के लिए सिस्टम कॉन्फ़िगर की अनुमति देता है. लोड हो रहा है के लिए लिफ्ट पिन के साथ वफ़र चक thermoelectrically आरटी से 250 डिग्री सेल्सियस तक नियंत्रित किया जाता है अतिरिक्त विकल्प एक ATEX प्रमाणित हाइड्रोजन जनरेटर है, बिंदु का उपयोग एक गैस की आपूर्ति के रूप में अभिनय.

Last Update: 8. October 2011 04:27

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