マイクロウェーブ血しょうシステム - PVA TePla による GIGAfab A

マイクロウェーブ血しょうシステム GIGAfab A200/300

GIGAfab A は所有権の非常に低価格を提供する非常にコンパクトな、高性能の、自動単一のウエファーのアセルです。 除去することを抵抗します主要なストリームの半導体に役立つことを設計します植え付けられる特別にこんにちは線量は抵抗します、またウエファーのための MEMS 製造業および descum アプリケーションは 300 までの mm を大きさで分類します。 強い等方性のような一義的なシステム特性および適当な基板の温度の高い灰のレートはそれにウエファーのクリーニングの広い範囲および除去アプリケーションのための完全なツールをのようなします:

  • ウエファーのぶつかることの取り外しそして descum に抵抗して下さい
  • 光硬化性樹脂、 polyimide、 PMMA 等の犠牲的な層の取り外し。
  • 速い高線量のインプラントおよび RIE の後で灰を振りかけることを抵抗して下さい
  • 300 の mm のウエファーの矯正
  • SU-8 エポキシの取り外しは抵抗します

GIGAfab A は広い温度較差上の高い灰のレートを提供する一義的な平面のマイクロウェーブ血しょうソースが装備されています。 Chemraz シールと組み合わせて、 fluorinated プロセスガスは応用である場合もあります。 モジュラープラットホームは開いたカセット、また FOUP または SMIF ロード端末を使用して 200 か 300 の mm のウエファーのためのシステムを設定することを割り当てます。 ローディングのための上昇ピンが付いているウエファーのチャックは RT から 250°C. 追加オプションに thermoelectrically 制御されていますですポイントの使用のガス供給として機能する ATEX 証明された水素の発電機。

Last Update: 11. January 2012 06:21

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