전자 레인지 플라즈마 시스템 - PVA TePla로 GIGAfab

마이크로 웨이브 플라즈마 시스템 GIGAfab A200/300

GIGAfab A는 매우 컴팩트한 고성능, 자동 싱글 웨이퍼 아셀이 소유 매우 낮은 비용을 제공하고 있습니다. 이것은 메인 스트림 반도체, ESP가 벗겨진 저항 제공하도록 설계되었습니다. 하이 복용량 저항뿐만 아니라, 300mm까지 웨이퍼 크기 MEMS 제조 및 descum 응용 프로그램을 심어. 적당한 기판 온도에서 강한 등방성 높은 재를 속도와 같은 독특한 시스템의 특성은 이런 애플 리케이션을 청소하고 벗겨진 웨이퍼의 광범위한 완벽한 도구를 만들 :

  • 자네랑 웨이퍼의 제거 및 descum 저항
  • 포토 레지스트의 희생 층 제거, PMMA 등 polyimide
  • 빠른 높은 복용량 주입하고 RIE ashing 후 저항
  • 300mm 웨이퍼는 개간
  • SU - 8 에폭시의 제거 저항

GIGAfab은은 다양한 온도 범위에서 높은 재를 속도를 제공하는 독특한 평면 마이크로 웨이브 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. Chemraz - 바다표범와 함께, 플루오르 공정 가스가 적용될 수 있습니다. 모듈형 플랫폼은 오픈 카세트뿐만 아니라 FOUP 또는 SMIF로드 스테이션을 사용하여 200 300mm 웨이퍼에 대한 시스템을 구성할 수 있습니다. 로딩을위한 리프트 핀이있는 웨이퍼 척은 thermoelectrically RT에서 250 ° C.으로 제어됩니다 추가 옵션은 포인트의 사용 가스의 공급 역할을, ATEX 인증 수소 생성기입니다.

Last Update: 4. October 2011 21:32

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment