Magnetron Plasma System - GIGAfab A door PVA Teplá

Magnetron Plasma System GIGAfab A200/300

De GIGAfab A is een zeer compacte, high-performance, automatische Single Wafer Aser het verstrekken van zeer lage cost of ownership. Het is ontworpen om te dienen main stream halfgeleider weerstaan ​​strippen, esp. hi-dosis geïmplanteerd weerstaan, evenals MEMS-productie en descum toepassingen voor wafer maten tot 300 mm. Uniek systeem kenmerken zoals een sterke isotropie en hoge as prijzen bij matige ondergrond temperaturen maken het een perfect hulpmiddel voor een breed scala van wafer reinigen en strippen toepassingen zoals:

  • Weerstaan ​​verwijdering en descum in wafer stoten
  • Opofferende laag verwijderen van fotolak, polyimide, PMMA, etc.
  • Snel weerstaan ​​verassing na hoge dosis implantaat en RIE
  • 300 mm wafer terug te winnen
  • Verwijdering van SU-8 epoxy weerstaan

De GIGAfab A is uitgerust met een unieke vlakke magnetron plasma bron, het verstrekken van hoge as tarieven over een breed temperatuurbereik. In combinatie met Chemraz-afdichtingen, kan gefluoreerde procesgassen worden toegepast. Het modulaire platform maakt het mogelijk om het systeem te configureren voor 200 of 300 mm wafers met open cassette evenals FOUP of SMIF laden stations. De wafer snelspanboorhouder met lift pinnen voor het laden is thermo-elektrisch bediend vanuit RT tot 250 ° C. Extra optie is een ATEX-gecertificeerde waterstof generator, als een point-of-use gasvoorziening.

Last Update: 4. October 2011 03:22

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment