Микроволновая плазменная система GIGAfab A200/300
GIGAfab является чрезвычайно компактные, высокопроизводительные, автоматический одной пластины Ашер обеспечения очень низкой стоимости владения. Он предназначен для обслуживания основного полупроводника поток сопротивляться зачистки, особ. привет дозы имплантированных сопротивляться, а также MEMS-производства и Descum приложений для пластин диаметром до 300 мм. Уникальные характеристики системы, как сильный изотропии и высокий уровень золы при умеренных температурах подложки делают его идеальным инструментом для широкого круга пластины очистки и зачистки приложений, таких как:
- Resist удаления и Descum в вафельных натыкаясь
- Жертвенный удаление слоя фоторезиста, полиимида, ПММА и др.
- Быстрый сопротивляться озоления после высокой дозы имплантата и RIE
- 300 мм пластины вернуть
- Удаление SU-8 эпоксидных сопротивляться
GIGAfab оснащен уникальным источником плоской плазменной СВЧ, обеспечивая высокий уровень золы в широком диапазоне температур. В сочетании с Chemraz-пломбы, фторсодержащих газов, процесс может быть применен. Модульная платформа позволяет настроить систему на 200 или 300 мм пластин с использованием открытых кассеты, а также станций FOUP или SMIF нагрузки. Пластины патрон с лифтом булавки для загрузки термоэлектрическим управляться с комнатной до 250 ° C. Дополнительная опция ATEX сертифицированный генератор водорода, действуя в качестве отправной точки в использовании газа.