Микроволновая плазменная система - GIGAfab на ПВА Тепла

Микроволновая плазменная система - GIGAfab на ПВА Тепла

Микроволновая плазменная система GIGAfab A200/300

GIGAfab является чрезвычайно компактные, высокопроизводительные, автоматический одной пластины Ашер обеспечения очень низкой стоимости владения. Он предназначен для обслуживания основного полупроводника поток сопротивляться зачистки, особ. привет дозы имплантированных сопротивляться, а также MEMS-производства и Descum приложений для пластин диаметром до 300 мм. Уникальные характеристики системы, как сильный изотропии и высокий уровень золы при умеренных температурах подложки делают его идеальным инструментом для широкого круга пластины очистки и зачистки приложений, таких как:

  • Resist удаления и Descum в вафельных натыкаясь
  • Жертвенный удаление слоя фоторезиста, полиимида, ПММА и др.
  • Быстрый сопротивляться озоления после высокой дозы имплантата и RIE
  • 300 мм пластины вернуть
  • Удаление SU-8 эпоксидных сопротивляться

GIGAfab оснащен уникальным источником плоской плазменной СВЧ, обеспечивая высокий уровень золы в широком диапазоне температур. В сочетании с Chemraz-пломбы, фторсодержащих газов, процесс может быть применен. Модульная платформа позволяет настроить систему на 200 или 300 мм пластин с использованием открытых кассеты, а также станций FOUP или SMIF нагрузки. Пластины патрон с лифтом булавки для загрузки термоэлектрическим управляться с комнатной до 250 ° C. Дополнительная опция ATEX сертифицированный генератор водорода, действуя в качестве отправной точки в использовании газа.

Last Update: 4. October 2011 21:51

Other Equipment by this Supplier