Микроволновая плазменная система - GIGAfab на ПВА Тепла

Микроволновая плазменная система GIGAfab A200/300

GIGAfab является чрезвычайно компактные, высокопроизводительные, автоматический одной пластины Ашер обеспечения очень низкой стоимости владения. Он предназначен для обслуживания основного полупроводника поток сопротивляться зачистки, особ. привет дозы имплантированных сопротивляться, а также MEMS-производства и Descum приложений для пластин диаметром до 300 мм. Уникальные характеристики системы, как сильный изотропии и высокий уровень золы при умеренных температурах подложки делают его идеальным инструментом для широкого круга пластины очистки и зачистки приложений, таких как:

  • Resist удаления и Descum в вафельных натыкаясь
  • Жертвенный удаление слоя фоторезиста, полиимида, ПММА и др.
  • Быстрый сопротивляться озоления после высокой дозы имплантата и RIE
  • 300 мм пластины вернуть
  • Удаление SU-8 эпоксидных сопротивляться

GIGAfab оснащен уникальным источником плоской плазменной СВЧ, обеспечивая высокий уровень золы в широком диапазоне температур. В сочетании с Chemraz-пломбы, фторсодержащих газов, процесс может быть применен. Модульная платформа позволяет настроить систему на 200 или 300 мм пластин с использованием открытых кассеты, а также станций FOUP или SMIF нагрузки. Пластины патрон с лифтом булавки для загрузки термоэлектрическим управляться с комнатной до 250 ° C. Дополнительная опция ATEX сертифицированный генератор водорода, действуя в качестве отправной точки в использовании газа.

Last Update: 4. October 2011 21:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment