MikrovågPlasmaSystem - GIGAfab A vid PVA TePla

MikrovågPlasmaSystem GIGAfab A200/300

GIGAfaben A är ett extremt kompakt, kick-kapacitet, den automatiska SingelRånAsheren som ger kostar mycket low, av äganderätt. Den planläggs till den huvudsakliga serven strömmer halvledaren motstår avklädning, esp. motstår den inympade hög-dosen, såväl som MEMS-fabriks- och descumapplikationer för rån storleksanpassar upp till en mm 300. Unika systemkännetecken gillar stark isotropy, och kickaskaen klassar på dämpar substratetemperaturer gör det en göra perfekt att bearbeta för en lång räcka av rånlokalvård, och avklädningapplikationer gillar:

  • Motstå borttagning och descumen, i att knuffa till för rån
  • Sacrificial lagrarborttagning av photoresist, polyimiden, PMMA Etc.
  • Fast motstår ashing efter kick-dos implantat och RIE
  • rånåterkräva för en mm 300
  • Borttagning av epoxy SU-8 motstår

GIGAfaben A utrustas med en unik planar mikrovågplasmakälla som ger kickaskaen, klassar över en bred temperatur spänner. I kombination med Chemraz-Förseglar, fluorinated processaa gasar kan appliceras. Modulplattformen låter konfigurera systemet för 200, eller 300 en mmrån genom att använda den öppna kassetten såväl som FOUP eller SMIF laddar posterar. Rånet kastar med elevatorben för att ladda kontrolleras thermoelectrically från RT till Extra alternativ 250°C. är enintygad Vätegenerator som agerar, som ettbruk gasar tillförsel.

Last Update: 23. January 2012 03:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment