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微波等离子系统 - 由 PVA TePla 的 GIGAfab A

微波等离子系统 GIGAfab A200/300

GIGAfab A 是提供非常所有权的低成本非常紧凑,高性能,自动唯一薄酥饼灰粉。 它被设计服务主要流半导体抵抗剥离,被种入的特别是喂剂量抵抗,以及对薄酥饼的 MEMS 制造和 descum 申请估量 300 mm。 象严格的各向同性现象的唯一系统特征和高灰费率以中等基体温度做它为各种各样的薄酥饼清洁和剥离的应用的一个理想的工具象:

  • 抵抗删除和 descum 在薄酥饼碰撞
  • 光致抗蚀剂、聚酰亚胺, PMMA 等牺牲层删除。
  • 快速请抵抗变成灰烬在高剂量植入管和 RIE 以后
  • 300 mm 薄酥饼开垦
  • SU-8 环氧删除抵抗

GIGAfab A 用一个唯一平面微波等离子来源装备,提供在宽温度范围的高灰费率。 与 Chemraz 密封的组合,氟化的处理气体可以是应用的。 使用开放卡式磁带以及 FOUP 或 SMIF 负荷岗位,模件平台准许配置 200 或 300 mm 薄酥饼的系统。 与推力针的薄酥饼牛颈肉装载的从 RT 是 thermoelectrically 受控的到 250°C. 另外的选项是一台 ATEX 被确认的氢生成器,作为点使用供气。

Last Update: 11. January 2012 06:13

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