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微波等離子系統 - 由 PVA TePla 的 GIGAfab A

微波等離子系統 GIGAfab A200/300

GIGAfab A 是提供非常所有權的低成本非常緊湊,高性能,自動唯一薄酥餅灰粉。 它被設計服務主要流半導體抵抗剝離,被種入的特別是餵劑量抵抗,以及對薄酥餅的 MEMS 製造和 descum 申請估量 300 mm。 像嚴格的各向同性現象的唯一系統特徵和高灰費率以中等基體溫度做它為各種各樣的薄酥餅清潔和剝離的應用的一個理想的工具像:

  • 抵抗刪除和 descum 在薄酥餅碰撞
  • 光致抗蝕劑、聚酰亞胺, PMMA 等犧牲層刪除。
  • 快速请抵抗變成灰燼在高劑量植入管和 RIE 以後
  • 300 mm 薄酥餅開墾
  • SU-8 環氧刪除抵抗

GIGAfab A 用一個唯一平面微波等離子來源裝備,提供在寬溫度範圍的高灰費率。 與 Chemraz 密封的組合,氟化的處理氣體可以是應用的。 使用開放卡式磁帶以及 FOUP 或 SMIF 負荷崗位,模件平臺准許配置 200 或 300 mm 薄酥餅的系統。 與推力針的薄酥餅牛頸肉裝載的從 RT 是 thermoelectrically 受控的到 250°C. 另外的選項是一臺 ATEX 被確認的氫生成器,作為點使用供氣。

Last Update: 23. January 2012 04:50

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