Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

ايون الموج 10 البلازما نظام الغاز التي TePla PVA

الموجة نظام ايون البلازما 10 هو التقدم في آخر لدينا تكنولوجيا البلازما الميكروويف. تم تصميم هذا منخفضة التكلفة ، ومتوسطة الحجم رقاقة دفعة آشر مع الميزات المتقدمة ، واستهداف احتياجات المسابك الصغيرة والجامعات والشركات المبتدئة.

و وقد تم تجهيز 10 مع ايون الموجة الجديدة ، والدولة من العناصر الفنية وبرامج للسيطرة على وجه التحديد معلمات التجهيز. عملية الرصد التي تقوم بها والتقاط البيانات البرمجيات تسمح لنوعية الأكثر صرامة الضوابط المتاحة. وقد استخدمت بنجاح هذه التكنولوجيا لالترانزستورات السلطة والأجهزة التناظرية وأجهزة الاستشعار والأجهزة البصرية والضوئيات ، ممس / MOEMS والأجهزة الحيوية ، الخ.

البصمة صغيرة من الموجة ايون 10 تتطلب الحد الأدنى من الفضاء المختبر ، وينص على سهولة التركيب والصيانة. باستخدام تكنولوجيا البلازما الميكروويف ، فإن هذا النظام ينتج معدلات عالية مقاوم الضوء ashing مع الحد الأدنى من التعرض لتصريف ثابت الكهربائية (ESD).

ملامح

الملامح الرئيسية للموجة 10 ايون البلازما الغاز النظام ما يلي :

  • المنضدة الصغيرة الطباعة القدم التصميم
  • غرفة لاستيعاب ما يصل الى الكوارتز "رقائق الكوارتز والقوارب تحمل ما يصل to25 ، 6" 8 رقائق
  • الصناعي الكمبيوتر مع نظام التشغيل Windows ® تستند
  • واجهة المستخدم الرسومية (GUI) والبرمجيات يتوافق مع نصف E95 - 1101
  • مستخدم التحكم في الوصول لعملية التنمية ، والصيانة والبرمجة
  • بعد عملية الرصد عبر شبكة إيثرنت
  • ملامح التشخيص والتنبيه على متن تسجيل
  • محرر الوصفة تقدم سريع وتنوعا التحكم المعلمة
  • 10.4 "عرض الكريستال السائل (LCD) لوحة اللمس ولوحة المفاتيح
  • برامج تحرير وصفة محاكاة
  • ويب يستند على الانترنت محاكاة والتدريب والدعم
  • التوصيل والتشغيل التثبيت

التطبيقات النموذجية

وعادة ما تستخدم الموجة ايون البلازما الغاز 10 للنظام :

  • الصور مقاومة تجريد
  • رقاقة descum
  • رقاقة التنظيف قبل النقش الرطب
  • SU - 8 إزالة
  • النقش من طبقات التخميل
  • نزع المحفظة جهاز لتحليل الفشل
  • تنظيف السطح وتفعيل
  • انخفاض درجة حرارة ashing من المواد الكيميائية لتحليل التتبع
  • تنظيف الفلاتر والأغشية

Last Update: 4. October 2011 21:51

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment