Ion Wave 10 Système plasma de gaz par PVA Tepla

La vague d'ions 10 Système plasma est notre plus récente percée dans la technologie plasma micro-ondes. Ce faible coût, de taille moyenne plaquette lots Asher est conçu avec des fonctionnalités avancées, en ciblant les besoins des fonderies à petite échelle, les universités et les entreprises en démarrage.

L' Ion Wave 10 est équipé de nouvelles, l'état de l'art et de composants logiciels pour contrôler précisément les paramètres de traitement. Son processus de suivi et de saisie des données du logiciel permet pour la qualité les plus strictes contrôles disponibles. Cette technologie a été utilisée avec succès pour des transistors de puissance, les appareils analogiques, capteurs, appareils d'optique, photonique, MEMS / MOEMS, les appareils bio, etc

Le faible encombrement de la Vague ION 10 exige un minimum d'espace de laboratoire et fournit pour une installation simple et la maintenance. En utilisant la technologie plasma micro-ondes, ce système produit de haute photorésine taux incinération avec une exposition minimale à la décharge statique électro (EDD).

Caractéristiques

Les principales caractéristiques de la vague d'ions 10 Système plasma gazeux comprennent:

  • Petits pieds de table de conception d'impression
  • Une chambre en quartz pouvant accueillir jusqu'à 8 "wafers de quartz et les bateaux transportant jusqu'à to25, 6" gaufrettes
  • Informatique industrielle avec Windows ® système basé
  • Interface utilisateur graphique (GUI) du logiciel est conforme aux semi E95-1101
  • Contrôle d'accès utilisateur pour le développement de processus, et la programmation d'entretien
  • La surveillance de processus à distance via Ethernet
  • Onboard fonctionnalités de diagnostic et d'alarme exploitation forestière
  • Éditeur de recette offre le contrôle des paramètres rapide et polyvalente
  • 10.4 "affichage à cristaux liquides tactile (LCD) et un clavier
  • Logiciel de simulation Recette rédacteur en chef
  • Web en ligne de simulation basé, formation et soutien
  • Installation Plug and play

Les applications typiques

La vague d'ions 10 Système de gaz plasma est généralement utilisé pour:

  • Photorésistant décapage
  • Descum Wafer
  • Wafer de nettoyage avant la gravure humide
  • SU-8 retrait
  • Gravure des couches de passivation
  • Décapsulation périphérique pour l'analyse des défaillances
  • Nettoyage et activation de surface
  • Basse température incinération de matériaux pour l'analyse de traces chimiques
  • Nettoyage des filtres et des membranes

Last Update: 21. October 2011 00:26

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