Ionen Golf 10 het Systeem van het Plasma van het Gas door PVA TePla

IonenGolf 10 plasmasysteem is onze recentste vordering in de technologie van het microgolfplasma. Deze lage kosten, worden asher van gemiddelde grootte van de wafeltjepartij ontworpen met geavanceerde eigenschappen, richtend de behoeften van kleinschalige gieterijen, universiteiten en startbedrijven.

IonenGolf 10 is uitgerust met nieuwe, overzichtscomponenten en software om verwerkingsparameters precies te controleren. Zijn proces controle en gegevens die software vangen staan voor de stringentste beschikbare kwaliteitsbeheersing toe. Deze technologie is met succes gebruikt voor machtstransistors, analoge apparaten, sensoren, optische apparaten, photonics, MEMS/MOEMS, bioapparaten, enz.

De kleine voetafdruk van IonenGolf 10 vereist minimale laboratoriumruimte en voorziet eenvoudig installatie en onderhoud. Gebruikend de technologie van het microgolfplasma, veroorzaakt dit systeem hoge photoresist verbrandende tarieven met minimale blootstelling aan elektro statische lossing (ESD).

Eigenschappen

De Zeer Belangrijke eigenschappen van IonenGolf 10 het Systeem van het Plasma van het Gas omvatten:

  • Klein voetaf:drukken tafelbladontwerp
  • Een kwartskamer die tot 8“ wafeltjes en kwartsboten aanpassen die omhoog to25, 6“ wafeltjes dragen
  • Industriële computer met Windows® gebaseerd systeem
  • De Grafische software van het Gebruikersinterface (GUI) Voldoet aan Semi E95-1101
  • Het toegangsbeheer van de Gebruiker voor procesontwikkeling, en onderhoud programmering
  • Verre proces controle via Ethernet
  • Aan Boord Van kenmerkend eigenschappen en alarmregistreren
  • De redacteur van het Recept biedt snelle en veelzijdige parametercontrole aan
  • 10.4 de aanrakingspaneel en toetsenbord (LCD) van de“ Vloeibare Vertoning van het Kristal
  • De software van de de redacteurssimulator van het Recept
  • Online Web gebaseerde simulatie, opleiding en steun
  • Gebruiksklare installatie

Typische toepassingen

IonenGolf 10 wordt het Systeem van het Plasma van het Gas typisch gebruikt voor:

  • Photo-resist het ontdoen van
  • Descum van het Wafeltje
  • Het schoonmaken van het Wafeltje voorafgaand aan natte ets
  • Su-8 verwijdering
  • Ets van passiveringslagen
  • Decapsulation van het Apparaat voor mislukkingsanalyse
  • Het Schoonmaken en oppervlakteactivering
  • Lage temperatuur verbranding van materialen voor chemische spooranalyse
  • Het Schoonmaken van filters en membranen

Last Update: 11. January 2012 04:37

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment