O sistema do plasma da Onda 10 do Íon é nosso avanço mais atrasado na tecnologia do plasma da microonda. Este baixo custo, calcinador meados de-feito sob medida do grupo da bolacha é projectado com as características avançadas, visando as necessidades de fundições da pequena escala, universidades e empresas start-up.
A Onda 10 do Íon é equipada com os componentes e o software novos, avançados para controlar precisamente parâmetros de processamento. Seu software da monitoração de processo e da captura de dados permite os controles os mais estritos da qualidade disponíveis. Esta tecnologia foi usada com sucesso para transistor de potência, dispositivos análogos, sensores, dispositivos ópticos, photonics, MEMS/MOEMS, bio dispositivos, Etc.
A pegada pequena da Onda 10 do Íon exige o espaço mínimo do laboratório e prevê-o a instalação e a manutenção simples. Usando a tecnologia do plasma da microonda, este sistema produz taxas de incineração do fotoresistente alto com exposição mínima à electro descarga estática (ESD).
Características
As características Chaves do Sistema do Plasma do Gás da Onda 10 do Íon incluem:
- Projecto Pequeno do tabletop da cópia do pé
- Uma câmara de quartzo que acomoda até 8" bolachas e barcos de quartzo que levam acima de to25, 6" bolachas
- O computador Industrial com Windows® baseou o sistema
- O software Gráfico (GUI) da Interface de Utilizador segue com Semi o E95-1101
- Controlo de acessos do Usuário para a revelação de processo, e programação da manutenção
- Monitoração de processo Remota através do Ethernet
- Características diagnósticas A Bordo e registo do alarme
- O editor da Receita oferece o controle de parâmetro rápido e versátil
- 10,4” painéis e teclados (LCD) de toque do Indicador de Cristal Líquido
- Software de simulador do editor da Receita
- Web Em Linha simulação, treinamento e apoio baseados
- A instalação Apto para a utilização
Aplicações Típicas
O Sistema do Plasma do Gás da Onda 10 do Íon é usado tipicamente para:
- Descascamento do Fotoresistente
- Descum da Bolacha
- Limpeza da Bolacha antes gravura a água-forte molhada
- Remoção SU-8
- Gravura A Água-forte de camadas do passivation
- Decapsulation do Dispositivo para a análise da falha
- Limpeza e activação de superfície
- Incineração de Baixa temperatura dos materiais para a análise de traço química
- Limpeza dos filtros e das membranas