Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Система Плазмы Газа Волны 10 Иона PVA TePla

Система плазмы Волны 10 Иона наше самое последнее выдвижение в технологии плазмы микроволны. Эта низкая цена, среднего размера Асир серии вафли конструирована при продвинутые особенности, пристреливая потребности плавилен малого масштаба, университеты и start-up компании.

Волна 10 Иона оборудована с новыми, современный компонентами и ПО точно для того чтобы контролировать обрабатывая параметры. Свое ПО процесса контроля и захватывать данных позволяет для самых строгих проверок качества доступных. Эта технология успешно была использована для транзисторов силы, аналоговых устройств, датчиков, оптических приборов, photonics, MEMS/MOEMS, био приборов, Etc.

Малый след ноги Волны 10 Иона требует минимального космоса лаборатории и обеспечивает для простых установки и обслуживания. Используя технологию плазмы микроволны, эта система производит тарифы высокого фоторезиста ashing с минимальным подвержением к electro статической разрядке (ESD).

Характеристики

Главные особенности Системы Плазмы Газа Волны 10 Иона включают:

  • Малая конструкция tabletop печати ноги
  • Камера кварца приспосабливая до 8" вафли и шлюпки кварца нося вверх по to25, 6" вафли
  • Промышленный компьютер с Windows® основал систему
  • ПО (GUI) Графического Интерфейса Пользователя исполняет с Semi E95-1101
  • Управление Доступа пользователя для отростчатого развития, и программировать обслуживания
  • Дистанционный процесс контроля через Локальные сети
  • Бортовые диагностические характеристики и вносить в журнал сигнала тревоги
  • Редактор Рецепта предлагает быстрое и разностороннее управление параметра
  • 10,4» панель и клавиатур (LCD) касания Дисплея Жидкостного Кристл
  • ПО имитатора редактора Рецепта
  • Он-лайн имитация, тренировка и поддержка основанные Сетью
  • Установка Подключей и играй

Типичные применения

Система Плазмы Газа Волны 10 Иона типично использована для:

  • Обнажать Фоторезиста
  • Descum Вафли
  • Чистка Вафли до влажного вытравливания
  • Удаление SU-8
  • Вытравливание слоев запассивированности
  • Декапсуляция Прибора для анализа отказа
  • Активация Чистки и поверхности
  • Ashing Низкой температуры материалов для химического анализа следа
  • Чистка фильтров и мембран

Last Update: 11. January 2012 06:29

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment