Ion Wave 10 Gas plasma System sa pamamagitan ng PVA TePla

Ang Ion Wave 10 plasma sistema ay ang aming pinakabagong pagsulong sa microwave plasma teknolohiya. Ang mababang gastos, kalagitnaan ng laki ostiya batch asher ay dinisenyo sa mga advanced na mga tampok, na-target ang mga pangangailangan ng mga maliit na sukat foundries, mga unibersidad at mga start-up kumpanya.

Ang Ion Wave 10 ay equipped na may bagong, estado ng mga bahagi ng sining at software upang tiyak na control parameter sa pagsasaproseso. Nito sa proseso ng pagsubaybay at ang data na pagkuha ng software ay nagbibigay-daan para sa pinaka-mahigpit na kalidad control magagamit. Ang teknolohiya na ito ay matagumpay na ginamit para sa mga transistors kapangyarihan, analog aparato, sensors, optical aparato, photonics, MEMS / MOEMS, bio aparato, atbp

Ang maliit na bakas ng paa ng Ion Wave 10 ay nangangailangan ng kaunting laboratoryo space at nagbibigay para sa simpleng pag-install at pagpapanatili. Paggamit ng microwave plasma teknolohiya, ang system na ito ay gumagawa ng mataas na photoresist ashing rate na may kaunting exposure sa electro static discharge (ESD).

Tampok

Key mga tampok ng Ion Wave 10 System Gas plasma ay kinabibilangan ng:

  • Maliit paa print tabletop disenyo
  • Isang kuwarts kamara matulungin up sa 8 "wafers at kuwarts bangka pagdala to25, 6" wafers
  • Industrial computer na may Windows ® base sistema
  • Graphical User Interface (GUI) na software ay sumusunod sa Semi E95-1101
  • User access control para sa pag-unlad ng proseso, at pagpapanatili ng programming
  • Remote na pagmamanman ng proseso sa pamamagitan ng ethernet
  • Onboard diagnostic mga tampok at alarma pag-log
  • Recipe editor ay nag-aalok ng mabilis at maraming nalalaman control parameter
  • 10.4 "Liquid Crystal Display (LCD) ugnay panel at keyboard
  • Recipe editor simulator software
  • Online Web batay simulation, pagsasanay at suporta
  • Install ng Plug at maglaro

Karaniwang mga aplikasyon

Ang Ion Wave 10 Gas plasma System ay karaniwang ginagamit para sa:

  • Photo-paglaban ang pagkakalag
  • Ostiya descum
  • Ostiya paglilinis bago sa wet ukit
  • Su-8 pag-aalis
  • Ang ukit ng mga layer kawalang kibo
  • Decapsulation ng Device para sa kabiguan pagtatasa
  • Paglilinis at activation ng ibabaw
  • Mababang temperatura ashing ng mga materyales para sa chemical bakas pagtatasa
  • Nililinis ng filter at membranes

Last Update: 4. October 2011 00:55

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment