离子通知 10 气体由 PVA TePla 的等离子系统

离子通知 10 等离子系统是我们的最新的推进在微波等离子技术。 此低成本,中型的薄酥饼批灰粉设计与先进特点,瞄准小规模铸造厂的需要,大学和新运作公司。

离子通知 10 用新,科技目前进步水平要素和软件装备精密地控制过程参数。 其程序控制和数据捕捉软件允许可用最严密的质量的控制。 此技术为功率晶体管、模拟装置、传感器、光学设备、 photonics、 MEMS/MOEMS、生物设备等等顺利地使用了。

离子通知 10 的小的脚印要求最小的实验室空间并且提供简单的安装和维护。 使用微波等离子技术,此系统导致高与最小的暴露的光致抗蚀剂变成灰烬的费率对电镀静电 (ESD)。

功能

离子通知 10 气体等离子系统的关键功能包括:

  • 小的英尺打印桌面设计
  • 适应 8" 的石英房间薄酥饼和运载 to25, 6" 的石英小船薄酥饼
  • 有 Windows® 的行业计算机根据系统
  • 图形用户界面 (GUI)软件遵照半 E95-1101
  • 工艺过程开发的用户访问控制和维护编程
  • 远程程序控制通过以太网
  • 机载诊断法功能和预警记录
  • 处方编辑提供快速和多才多艺的参量控制
  • 10.4”液晶显示 (LCD)接触控制板和关键董事会
  • 处方编辑模拟器软件
  • 在线基于 web 的模拟、培训和技术支持
  • 即插即用安装

典型的应用

离子通知 10 气体等离子系统典型地使用为:

  • 光致抗蚀剂剥离
  • 薄酥饼 descum
  • 在湿蚀刻之前的薄酥饼清洁
  • SU-8 删除
  • 钝化层蚀刻
  • 故障分析的设备皮膜剥脱术
  • 清洁和表面启动
  • 低温变成灰烬化工痕量分析的材料
  • 补白和膜清洁

Last Update: 11. January 2012 06:13

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