Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Gigabatch-Serien-Mikrowellen-Plasma-Anlagen durch PVA TePla

GIGAbatch-Serien-Mikrowellen-Plasma-Anlagen
Baumuster 310M, 360/380 M, 360/380 P, A 360/380 P
Die GIGAbatch-Serie ist die späteste und höchstentwickelte Generation von Stapel Ashers, die heute angeboten werden und ist der Nachfolger der sehr populären 300 Serie. Hauptgebrauch ist widersteht Ausbau und Waferreinigung. Hochmoderne prozesskontrollierte im Verbindung mit Mikrowellenplasmageneration sind die Schlüsselelemente der GIGAbatch-Familie der Produkte. Beginnend zu sehr wirtschaftlichen Preisen, reichen die Anlagen von R&D-Hilfsmitteln bis zu vollautomatischen belasteten Anlagen für Großserienproduktion in Waferfabs bis zu 200mm. Stapelsysteme sind für alle Wafergrößen und Substratflächenformen betriebsbereit brauchbar. Alle Baumuster kennzeichnen die eindeutige Fachklappe für einfaches Laden, ohne die Plasmakammer zu berühren.

Die GIGAfab-Reihe von einzelnen Waferhilfsmitteln nzt die Produktpalette ergä, um die fordernderen Anwendungen für 200 und 300 mm-Wafers zu dienen und visiert das Waferstoßen, Hochdosis Implantatsstreifen und das Aufbereiten der niedrigen Temperatur an.

Last Update: 11. January 2012 06:18

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment