Sistemas del Plasma de la Microonda de la Serie de Gigabatch por PVA TePla

Sistemas del Plasma de la Microonda de la Serie de GIGAbatch
Modelos los 310M, 360/380 M, 360/380 P, A 360/380 P
La serie de GIGAbatch es la generación última y más avanzada de ashers del tratamiento por lotes ofrecidos hoy y es el sucesor de las 300 series muy popular. El uso Principal es resiste retiro y la limpieza del fulminante. El mando de proceso Avanzado conjuntamente con la generación del plasma de la microonda es los elementos claves de la familia de GIGAbatch de productos. Comenzando en los precios muy económicos, los sistemas colocan de las herramientas del R&D a los sistemas cargados completamente automáticos para la producción en grandes cantidades en Waferfabs hasta 200m m. Los sistemas de Tratamiento Por Lotes son fácilmente usables para todas las tallas del fulminante y dimensiones de una variable del substrato. Todos Los modelos ofrecen la puerta única del cajón para el cargamento fácil sin el tacto del compartimiento del plasma.

La serie de GIGAfab de únicas herramientas del fulminante complementa la gama de productos para servir las aplicaciones más exigentes para los fulminantes de 200 y 300 milímetros, apuntando topar del fulminante, la cinta del implante de la alto-dosis y el tramitación de la baja temperatura.

Last Update: 11. January 2012 06:30

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