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Systèmes de Plasma d'Hyperfréquences de Suite de Gigabatch par PVA TePla

Systèmes de Plasma d'Hyperfréquences de Suite de GIGAbatch
Models 310M, 360/380 M, 360/380 P, A 360/380 P
La suite de GIGAbatch est le dernier et le plus avancé rétablissement des calcinateurs en lots offerts aujourd'hui et est le successeur des 300 séries très populaires. L'utilisation Principale est résistent au démontage et au nettoyage de disque. Le contrôle du processus De Pointe en combination avec le rétablissement de plasma d'hyperfréquences sont les éléments clé de la famille de GIGAbatch des produits. Démarrant aux prix très économiques, les systèmes s'échelonnent des outils de R&D aux systèmes chargés complètement automatiques pour la production à fort débit dans Waferfabs jusqu'à 200mm. Les systèmes de Lot sont promptement utilisables pour toutes les tailles de disque et formes de substrat. Tous Les modèles comportent la seule trappe de tiroir pour la charge facile sans toucher la cavité de plasma.

La suite de GIGAfab d'outils uniques de disque complète la gamme de produits pour servir les demandes plus exigeantes de disques de 200 et 300 millimètres, visant le disque envoyant, la bande à forte dose d'implant et le traitement de basse température.

Last Update: 11. January 2012 06:16

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