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Gigabatch श्रृंखला PVA TePla द्वारा माइक्रोवेव प्लाज्मा सिस्टम

Gigabatch श्रृंखला PVA TePla द्वारा माइक्रोवेव प्लाज्मा सिस्टम

GIGAbatch श्रृंखला माइक्रोवेव प्लाज्मा सिस्टम
310M मॉडल, एम 360/380, 360/380 पी, ए पी 360/380

GIGAbatch श्रृंखला बैच आज की पेशकश ashers की नवीनतम और सबसे उन्नत पीढ़ी है और बहुत लोकप्रिय 300 श्रृंखला के उत्तराधिकारी है. मुख्य उपयोग हटाने और वेफर सफाई का विरोध है. राज्य के कला माइक्रोवेव प्लाज्मा पीढ़ी के साथ संयोजन में प्रक्रिया नियंत्रण उत्पादों के GIGAbatch परिवार के प्रमुख तत्व हैं. बहुत आर्थिक कीमतों, सिस्टम अनुसंधान और विकास उपकरण से उच्च मात्रा Waferfabs में 200mm के लिए उत्पादन के लिए पूरी तरह से स्वचालित लोड प्रणालियों सीमा पर शुरू. बैच सिस्टम सभी वफ़र आकार और सब्सट्रेट आकार के लिए आसानी से प्रयोग करने योग्य हैं. सभी मॉडलों प्लाज्मा चैम्बर छू बिना आसान लोड करने के लिए अद्वितीय दराज दरवाजा सुविधा.

एकल वफ़र उपकरणों की GIGAfab श्रृंखला उत्पाद रेंज पूरक करने के लिए 200 और 300 मिमी wafers के लिए अधिक आवेदन पत्र की मांग की सेवा, वेफर लक्ष्यीकरण, प्रत्यारोपण उच्च खुराक पट्टी और कम तापमान प्रसंस्करण bumping.

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