Sistemi del Plasma di Microonda di Serie di Gigabatch da PVA TePla

Sistemi del Plasma di Microonda di Serie di GIGAbatch
Modelli 310M, 360/380 di M., 360/380 di P, A 360/380 P
La serie di GIGAbatch è l'ultima e generazione più avanzata di ashers in lotti offerti oggi ed è il successore delle 300 serie molto popolare. L'utilizzazione Principale è resiste alla rimozione ed alla pulizia del wafer. Il controllo dei processi Avanzato congiuntamente alla generazione del plasma di microonda è gli elementi chiave della famiglia di GIGAbatch dei prodotti. Cominciando ai prezzi molto economici, i sistemi variano dagli strumenti di R & S ai sistemi caricati completamente automatici per produzione in grande quantità in Waferfabs fino ad un massimo di 200mm. I sistemi In Lotti sono prontamente utilizzabili per tutte le dimensioni del wafer e forme del substrato. Tutti I modelli caratterizzano la porta unica del cassetto per caricamento facile senza toccare la camera del plasma.

La serie di GIGAfab di singoli strumenti del wafer complementa la gamma di prodotti per servire le domande più esigenti di wafer da 200 e 300 millimetri, miranti urtare del wafer, al nastro dell'innesto della alto-dose ed al trattamento di bassa temperatura.

Last Update: 11. January 2012 04:42

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