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PVA TePla による Gigabatch シリーズマイクロウェーブ血しょうシステム

GIGAbatch シリーズマイクロウェーブ血しょうシステム
モデル 310M、 360/380 の M、 360/380 の P、 A 360/380 P
GIGAbatch シリーズは今日提供されるバッチアセルの最新および最先端の生成で、非常に普及した 300 のシリーズの後継者です。 主要な使用は抵抗します取り外しおよびウエファーのクリーニングにあります。 マイクロウェーブ血しょう生成と組み合わせて最新式のプロセス制御は製品の GIGAbatch の系列のキーエレメントです。 非常に経済的な価格で開始して、システムは 200mm まで Waferfabs の大量の生産のための R & D のツールからフルオートのロードされたシステムまで及びます。 バッチシステムはすべてのウエファーのサイズおよび基板の形のために容易に使用可能です。 すべてのモデルは血しょう区域に触れないで容易なローディングのための一義的な引出しのドアを特色にします。

GIGAfab の一連の単一のウエファーのツールはウエファーのぶつかること機能するために、製品範囲を高線量のインプラントストリップおよび低温の処理を目標とする 200 そして 300 の mm のウエファーのためのよりデマンドが高いアプリケーションを補足します。

Last Update: 11. January 2012 06:21

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