PVA TePla에 의하여 Gigabatch 시리즈 마이크로파 플라스마 시스템

GIGAbatch 시리즈 마이크로파 플라스마 시스템
모형 310M, 360/380 M, 360/380의 P, A 360/380 P
GIGAbatch 시리즈는 오늘 제안된 배치 아셀의 최신과 가장 진보된 발생이고 아주 대중적인 300의 시리즈의 후임입니다. 주요 사용은 저항합니다 제거와 웨이퍼 청소를 입니다. 마이크로파 플라스마 발생과 조화하여 최신식 순서 관리는 제품의 GIGAbatch 계열의 중요한 성분입니다. 아주 경제 가격에 시작해서, 시스템은 200mm까지 Waferfabs에 있는 높은 볼륨 생산을 위한 연구 및 개발 공구에서 가득 차있 자동적인 적재한 시스템에 구역 수색합니다. 배치 시스템은 모든 웨이퍼 규모 및 기질 모양을 위해 즉시 쓸모 있습니다. 모든 모형은 플라스마 약실을 만지기 없이 쉬운 선적을 위한 유일한 서랍 문을 특색짓습니다.

단 하나 웨이퍼 공구의 GIGAfab 시리즈는 웨이퍼 부딪치고는 도움이 되어기 위하여, 생산 범위를 높 복용량 임플란트 지구 및 저온 가공을 표적으로 하는 200 그리고 300 mm 웨이퍼를 위한 지나치게 요구하는 응용을 보충합니다.

Last Update: 11. January 2012 06:23

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