Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Gigabatch Series Microwave Plasma Systems door PVA Teplá

GIGAbatch Series Magnetron Plasma Systems
Modellen 310M, 360/380 M, 360 / 380 P, A 360/380 P

De GIGAbatch serie is de nieuwste en meest geavanceerde generatie van de partij Ashers vandaag aangeboden en is de opvolger van de zeer populaire 300-serie. Belangrijkste gebruik is bestand tegen het verwijderen en schoonmaken van wafer. State-of-the-art process control in combinatie met magnetron plasma generatie zijn de belangrijkste elementen van de GIGAbatch familie van producten. Te beginnen bij een zeer economische prijzen, de systemen variëren van R & D-tools om volautomatische belaste systemen voor hoog-volume productie in Waferfabs tot 200mm. Batch-systemen zijn gemakkelijk bruikbaar voor alle wafer maten en ondergrond vormen. Alle modellen zijn uitgerust met de unieke lade deur voor gemakkelijk laden zonder het aanraken van het plasma kamer.

De GIGAfab serie van enkele wafer tools een aanvulling op het assortiment aan de meer veeleisende toepassingen voor 200 en 300 mm wafers te dienen, gericht op wafer stoten, een hoge dosis implantaat strip en een lage temperatuur.

Last Update: 10. October 2011 11:03

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment