Gigabatch Series Microwave Plasma Sistemas de PVA Tepla

GIGAbatch Series Microwave Plasma Sistemas
Modelos 310M, 360 / 380 M, 360 / 380 P, A P 360/380

A série GIGAbatch é a geração mais recente e avançada de Ashers lotes oferecidos hoje e é o sucessor do muito popular série 300. Uso principal é resistir à remoção e limpeza de wafer. State-of-the-art controle de processo em combinação com microondas geração de plasma são os principais elementos da família GIGAbatch de produtos. A partir de preços muito econômica, a gama de sistemas de P & D para ferramentas totalmente carregado para sistemas automáticos de produção de alto volume em Waferfabs até 200mm. Sistemas de lote são prontamente utilizável para todos os tamanhos e formas wafer substrato. Todos os modelos possuem a porta da gaveta exclusiva para facilitar o carregamento, sem tocar a câmara de plasma.

A série de ferramentas GIGAfab único wafer complementa a gama de produtos para atender as aplicações mais exigentes para 200 e wafers de 300 mm, visando wafer bater, tira de implante de alta dose e processamento de baixa temperatura.

Last Update: 12. October 2011 15:48

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment