Gigabatch Series Microwave Plasma Sistemas de PVA Tepla

Gigabatch Series Microwave Plasma Sistemas de PVA Tepla

GIGAbatch Series Microwave Plasma Sistemas
Modelos 310M, 360 / 380 M, 360 / 380 P, A P 360/380

A série GIGAbatch é a geração mais recente e avançada de Ashers lotes oferecidos hoje e é o sucessor do muito popular série 300. Uso principal é resistir à remoção e limpeza de wafer. State-of-the-art controle de processo em combinação com microondas geração de plasma são os principais elementos da família GIGAbatch de produtos. A partir de preços muito econômica, a gama de sistemas de P & D para ferramentas totalmente carregado para sistemas automáticos de produção de alto volume em Waferfabs até 200mm. Sistemas de lote são prontamente utilizável para todos os tamanhos e formas wafer substrato. Todos os modelos possuem a porta da gaveta exclusiva para facilitar o carregamento, sem tocar a câmara de plasma.

A série de ferramentas GIGAfab único wafer complementa a gama de produtos para atender as aplicações mais exigentes para 200 e wafers de 300 mm, visando wafer bater, tira de implante de alta dose e processamento de baixa temperatura.

Last Update: 12. October 2011 15:48

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