Gigabatch серии микроволновой плазменной системы на ПВА Тепла

Gigabatch серии микроволновой плазменной системы на ПВА Тепла

GIGAbatch серии Микроволновая плазменных систем
Модели 310M, 360/380 M, P 360/380, 360/380 P

Серия GIGAbatch является последней и самой передовой поколение порционных ashers предлагаемых сегодня и является преемником очень популярной серии 300. Главная использование сопротивляться удаления и очистки пластин. Государство-оф-арт-процесса контроля в сочетании с поколением микроволнового плазменного являются ключевыми элементами GIGAbatch семейство продуктов. Начиная с самого экономического цены, системы от R & D инструменты для полностью автоматической загруженных системах для больших объемов производства в Waferfabs до 200 мм. Пакетная система легко использовать для всех размеров пластин и подложки формы. Все модели оснащены уникальной дверью ящик для облегчения загрузки, не прикасаясь к плазменной камеры.

Серия GIGAfab одного инструмента пластины дополняет ассортимент продукции для обслуживания более требовательных приложений для 200 и 300 мм пластины, пластины ориентации натыкаясь, высокие дозы полосы имплантата и низкие температуры обработки.

Last Update: 24. October 2011 23:58

Other Equipment by this Supplier