Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Gigabatch серии микроволновой плазменной системы на ПВА Тепла

GIGAbatch серии Микроволновая плазменных систем
Модели 310M, 360/380 M, P 360/380, 360/380 P

Серия GIGAbatch является последней и самой передовой поколение порционных ashers предлагаемых сегодня и является преемником очень популярной серии 300. Главная использование сопротивляться удаления и очистки пластин. Государство-оф-арт-процесса контроля в сочетании с поколением микроволнового плазменного являются ключевыми элементами GIGAbatch семейство продуктов. Начиная с самого экономического цены, системы от R & D инструменты для полностью автоматической загруженных системах для больших объемов производства в Waferfabs до 200 мм. Пакетная система легко использовать для всех размеров пластин и подложки формы. Все модели оснащены уникальной дверью ящик для облегчения загрузки, не прикасаясь к плазменной камеры.

Серия GIGAfab одного инструмента пластины дополняет ассортимент продукции для обслуживания более требовательных приложений для 200 и 300 мм пластины, пластины ориентации натыкаясь, высокие дозы полосы имплантата и низкие температуры обработки.

Last Update: 24. October 2011 23:58

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment