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Gigabatch 串聯微波由 PVA TePla 的等離子系統

GIGAbatch 串聯微波等離子系統
設計 310M, 360/380 M, 360/380 P, A 360/380 P
GIGAbatch 串聯是批灰粉的最新和最先進的生成今天提供的并且是非常普遍的 300 系列的接任人。 主要用途是抵抗刪除和薄酥餅清潔。 科技目前進步水平程序控制與微波等離子生成的組合是產品 GIGAbatch 系列的關鍵字元。 開始以非常經濟價格,系統從 R&D 工具範圍到全自動機械的被裝載的系統為大容積生產在 Waferfabs 至 200mm。 批系統為所有薄酥餅範圍和基體形狀是容易地可用的。 所有設計以容易的裝載的唯一出票人門為特色,无需涉及等離子房間。

唯一薄酥餅工具 GIGAfab 系列補充產品範圍為對 200 和 300 mm 薄酥餅的更加過分要求的申請服務,瞄準薄酥餅碰撞,高劑量植入管主街上和低溫處理。

Last Update: 23. January 2012 04:50

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